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化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CMP

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、散熱材料、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品、通訊器材、機(jī)械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機(jī)械配件、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、五金工具、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成;工程管理服務(wù);單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測(cè)服務(wù);

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械、文化辦公用品、五金交電、機(jī)械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng);依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,光學(xué),生物團(tuán)隊(duì)組成,目前核心創(chuàng)始人3位,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個(gè)廣東地區(qū),可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),深圳大學(xué),深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),離心機(jī),旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,質(zhì)譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,手套箱,磁控濺射

v 該化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)可用于各類半導(dǎo)體集成電路、氧化物、金屬、STISOI等產(chǎn)品的CMP平坦化拋光。 通過(guò)更換拋光頭可兼容4、68英寸晶圓

v 系統(tǒng)功能:手動(dòng)上下片,程序自動(dòng)進(jìn)行拋光,配有終點(diǎn)監(jiān)測(cè)裝置,配置半自動(dòng)loading & unloading托盤系統(tǒng),8寸規(guī)格,方便8寸晶圓上下片

v 拋光數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè):具有摩擦力監(jiān)測(cè)功能

v 配備紅外溫度計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)拋光過(guò)程中拋光墊表面溫度

v 拋光盤直徑20inch(508mm) 轉(zhuǎn)速范圍:30-200rpm

v 拋光頭wafer加壓方式:氣囊加壓,帶有背壓功能

v wafer壓力控制范圍:70-500g/cm2

v 保持環(huán)壓力控制范圍:70-700g/cm2

v 拋光頭轉(zhuǎn)速范圍:30-200rpm 擺動(dòng)幅度:±10mm

v 拋光液供應(yīng)系統(tǒng):3個(gè)可調(diào)流量蠕動(dòng)泵供液,3路獨(dú)立的拋光液通道,滴液位置可調(diào)

v 配置摩擦力&溫度終點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng):含專用監(jiān)測(cè)軟件,帶有End point detection功能

v 控制系統(tǒng):PC工控機(jī)控制,觸摸屏操作,可存儲(chǔ)20個(gè)加工程序,加工程序最多可設(shè)6個(gè)不同加工階段

v 均勻性 (1sigma,EE(Edge Exclusion):5mm)

片內(nèi)非均勻性WIWNU≤5%

片間非均勻性WTWNU≤5%




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