Park NX-TSH

Park NX-TSH的全自動(dòng)特點(diǎn):

? 可靈活掌握自動(dòng)，半自動(dòng)和手動(dòng)模式
? 為每個(gè)自動(dòng)化程序提供可編輯測(cè)量方法
? 實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程
? 自動(dòng)分析獲取測(cè)量數(shù)據(jù)

- 自動(dòng)換針器（ATX）


ATX通過(guò)模式識(shí)別自動(dòng)定位探針，并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針。激光光斑通過(guò)電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。


-電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

Park創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過(guò)程中產(chǎn)品意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至。

Park NX-TSH技術(shù)參數(shù)：

*本技術(shù)參數(shù)是可定制的。可咨詢Park原子力顯微鏡，以獲取更多信息。




系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

樣品尺寸： 520 mm X 520 mm X12 mm, 10kg

電動(dòng)式X方向載物臺(tái)：行程可達(dá)625 mm，±3 μm分辨率

電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺(tái)：行程可達(dá)525 mm，±3 μm分辨率

電動(dòng)式Z方向載物臺(tái)：Z軸移動(dòng)距離為25 mm, 0.08 μm分辨率，重復(fù)性
電動(dòng)式對(duì)焦臺(tái)：Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm

COGNEX圖案識(shí)別：圖案校對(duì)分辨率為1/4像素

掃描器性能：




XY掃描范圍：100 μm ×100 μm

XY分辨率：0.15 nm

Z掃描范圍：15 μm

Z分辨率：0.016 nm


AFM和XY移動(dòng)平臺(tái)控制器

ADC：18個(gè)頻道，4個(gè)高速通道，X，Y和Z位置傳感器(24-位ADC)

DAC: 12個(gè)頻道，2個(gè)高速DAC通道，X，Y和Z的定位(20-bit DAC)




合規(guī)

CE認(rèn)證：SEMI S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)




設(shè)施要求

待機(jī)室溫：10°C?40°C

工作室溫：18°C?24°C

濕度：30％至60％（不凝結(jié)）

地板振動(dòng)要求：VC-E（3微米/秒）

噪音：低于65 dB

氣動(dòng)式：真空度：-80 kPa

CDA（或N2）：0.7 Mpa

電源額定值：208V-240 V，單相，17 A（）

總耗電量：咨詢Park原子力顯微鏡

接地電阻：低于100歐姆