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青島明華電子儀器有限公司

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紫外高分辨率波前傳感器-SID4-UV-HR

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                                            徠飛光電科技(深圳)有限公司坐落在深圳國家科學(xué)城-光明中心區(qū),是一家集光學(xué)、精密機械、電子、計算機技術(shù)于一體的企業(yè),為國內(nèi)高校及企業(yè)研發(fā)提供光電設(shè)備及集成方案的供應(yīng)商。

徠飛光電致力于引進(jìn)國際上優(yōu)秀的光電技術(shù)產(chǎn)品,結(jié)合我們豐富的應(yīng)用經(jīng)驗,為客戶提供合適的解決方案,目前主營產(chǎn)品包括:光譜測量系統(tǒng)、激光器、激光量測系統(tǒng)、精密光機產(chǎn)品、光學(xué)平臺、光學(xué)元器件等;產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、物理光學(xué)、鏡頭、半導(dǎo)體器件測試、汽車光學(xué)器件、顯示光學(xué)器件等領(lǐng)域

徠飛光電始終堅持以客戶需求為中心,與客戶協(xié)同創(chuàng)新,為行業(yè)帶來新的解決方案,實現(xiàn)跟客戶的價值雙贏、共同發(fā)展,立志成為光電行業(yè)專業(yè)的光電解決方案供應(yīng)商;

目前徠飛光電為客戶提供以下產(chǎn)品和服務(wù):

波前分析系統(tǒng):四波剪切干涉波前傳感器、鏡頭MTF測試系統(tǒng)、等離子體診斷系統(tǒng)、透射式波前調(diào)制器

光譜系統(tǒng):拉曼光譜系統(tǒng)、熒光光譜系統(tǒng)、紫外拉曼系統(tǒng)等;

光電模組:激光光源、超亮白光光源、波長可調(diào)光源、電學(xué)測試儀等

傳感器:光纖光譜儀、紅外光譜儀、波前傳感器、科研級制冷相機、激光功率計、光斑分析儀等

精密機械:電動位移臺、手動位移臺、光學(xué)調(diào)整架、光學(xué)平臺

光學(xué)元件:透鏡、窗口、反射鏡、棱鏡、濾光片、波片、偏振元件等

 

原位熒光光譜儀,波前分析儀,拉曼光譜儀,紅外光譜儀,超亮白光光源,大功率LED光源,波長可調(diào)光源,激光器,BSDF測試系統(tǒng)

SID4-UV-HR是Phasics針對半導(dǎo)體應(yīng)用市場需求推出的高性能的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為13.3X13.3mm2,提供512X512的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產(chǎn)品大的靶面設(shè)計及高達(dá)512X512的相位分辨率,滿足了目前半導(dǎo)體紫外鏡頭的表征測試需求;

應(yīng)用領(lǐng)域:193nm激光光束測量

半導(dǎo)體設(shè)備用鏡頭測量

半導(dǎo)體表面缺陷測量

 

SID4-UV-HR指標(biāo)規(guī)格

波長范圍

190nm~400nm

靶面尺寸

13.3X13.3mm2

相位空間分辨率

26um

相位譜&光強譜采樣率

512X512

相位分辨率

<2nm   RMS

精度

20nm RMS

采樣頻率

15fps

實時相位輸出頻率

3fps(全分辨率)

通信接口

USB3.0

尺寸

80.3 x 78.6x 108.2mm3

重量

約600g

 




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