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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>SV-200 SV-4540 SV-6040 日本ULVAC愛發(fā)科大型設備濺射SV-9045

SV-200 SV-4540 SV-6040 日本ULVAC愛發(fā)科大型設備濺射SV-9045

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玉崎科學儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設立的中國子公司,專業(yè)從事國內貿易/國際貿易業(yè)務,主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械設備、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學用品、FA自動化多類上萬種產品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學嚴謹?shù)漠a品質量,專業(yè)的線下服務能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術支持

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備

日本ULVAC愛發(fā)科大型設備濺射SV-9045

日本ULVAC愛發(fā)科大型設備濺射SV-9045



間歇式濺射設備SV系列


特征

  • SV-4540、6040和9045為轉盤式,具有較大的電路板裝載能力,非常適合中小型或小批量、多品種生產。

  • SV-200 圓盤壓模機 鎳膜沉積專用設備,超緊湊、全自動、高產量。

目的

  • 在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜

規(guī)格


SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
標準排氣系統(tǒng)8”低溫泵12”低溫泵12”低溫泵16”低溫泵
極限壓力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
車廠方向
成膜面積均勻性

Φ200mm±5%L300mm±10%L300mm±10%L400mm±10%
基材加熱沒有任何250℃250℃250℃
控制系統(tǒng)自動的自動的自動的自動的

不包括選項SV-200
渦輪泵非水冷電極
油擴散泵APC機制
多個同時倉庫基材換向機構
下站反應濺射
常規(guī)陰極
鐵磁材料陰極
射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
偏置機構(SV-4540)



























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