化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>SV-200 SV-4540 SV-6040 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
SV-200 SV-4540 SV-6040 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
- 公司名稱(chēng) 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SV-200 SV-4540 SV-6040
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/25 10:00:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 482
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
間歇式濺射設(shè)備SV系列
特征
SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤(pán)式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。
SV-200 圓盤(pán)壓模機(jī) 鎳膜沉積專(zhuān)用設(shè)備，超緊湊、全自動(dòng)、高產(chǎn)量。
目的
在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜
規(guī)格
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng) | 8”低溫泵 | 12”低溫泵 | 12”低溫泵 | 16”低溫泵 |
| 極限壓力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| 車(chē)廠方向 | 邊 | 邊 | 邊 | 邊 |
| 成膜面積均勻性 靜 轉(zhuǎn) | Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
| 基材加熱 | 沒(méi)有任何 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 控制系統(tǒng) | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 |
不包括選項(xiàng)SV-200 | 渦輪泵 | 非水冷電極 | ||
| 油擴(kuò)散泵 | APC機(jī)制 | |||
| 多個(gè)同時(shí)倉(cāng)庫(kù) | 基材換向機(jī)構(gòu) | |||
| 下站 | 反應(yīng)濺射 | |||
| 常規(guī)陰極 | ||||
| 鐵磁材料陰極 | ||||
| 射頻蝕刻清洗 (SV-4540) | ||||
| 偏置機(jī)構(gòu)（SV-4540） | ||||
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