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Gasboard-2060 紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

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  四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(688665.SH)的全資子公司,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè),服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領域。
  基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢,四方儀器開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表,產(chǎn)品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個行業(yè),在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產(chǎn)品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu).秀.產(chǎn)品獎榮譽,其核心技術獲得湖北省發(fā)明專.li金獎。四方儀器“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得*2019年工業(yè)強基工程重點“產(chǎn)品、工藝”一.條.long應用計劃示范項目,公司獲得一.條.long”應用計劃示范企業(yè)。
  四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質(zhì)量體系及國際化視野,產(chǎn)品已出口多個國家和地區(qū),正在朝著氣體分析科學儀器的國際品牌邁進。












氣體分析儀,沼氣分析儀,煤氣分析儀,煙氣分析儀,尾氣分析儀,過程氣體分析儀,氣體流量計,氣體傳感器,溫室氣體分析儀,汽車排放氣體分析儀

應用領域 化工,能源

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測




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