Leybold萊寶熱陰極真空計（ITR90）

有兩種主要型號可供選擇：

l帶單個熱陰極燈絲的 ITR 90

l帶雙燈絲的 ITR 200，通過內置冗余配置延長使用壽命。如果出現(xiàn)故障，它將自動切換燈絲，并指示燈絲出現(xiàn)故障。為了進一步延長真空計的使用壽命，可以運行脫氣程序，從而重新增強燈絲的性能。

l從 1 × 10^-10 mbar/torr 到大氣壓的連續(xù)壓力測量  

l緊湊型設計，帶有可更換的陰極和脫氣模式

l可烘烤的傳感器，用于 UHV 測量

l提供模擬、顯示、數(shù)字和 Profibus 接口，便于安裝

l在 10^-2 至 10^-9 mbar 的典型工藝壓力范圍內具有高重復性  

l通過無源測量進行的 UHV 壓力測量，可實現(xiàn)低至 10^-12 mbar/torr 的測量

l測量范圍：通?？蓽y量的壓力范圍為 1.3×10?? Pa 到 3×10? Pa，可滿足從高真空到超高真空范圍的測量需求。

l輸出特性：可以與 Duniway Terranova 990 真空計控制器等配合，具有 RS232 串行、I/O 數(shù)據輸出接口，可進行壓力讀數(shù)的模擬對數(shù)輸出等。

工作原理

基于熱陰極電離規(guī)的原理工作。通過高溫燈絲發(fā)射電子，這些高能量電子在電場作用下加速運動，與真空計測量空間內的氣體分子發(fā)生碰撞。在碰撞過程中，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，使氣體分子電離形成帶正電的離子。這些帶電離子在電場作用下被離子收集極捕捉收集，形成離子流。離子流的大小與氣體壓力成比例關系，通過測量離子流的大小就可以測算出氣體的壓力，從而得出真空度。

結構特點

l電極結構：一般由陰極（燈絲）、柵極和收集極組成。陰極通常采用耐高溫、發(fā)射電子性能良好的材料制成，通電加熱后發(fā)射電子。柵極處于正電位，用于加速從陰極發(fā)射出來的電子，使電子獲得足夠的能量去撞擊氣體分子。收集極處于負電位，用于收集被電離的氣體離子。

l規(guī)管設計：整體規(guī)管的設計能夠保證在高真空環(huán)境下，電子、離子的運動和相互作用不受外界干擾，確保測量的準確性和穩(wěn)定性。

Leybold萊寶熱陰極真空計（ITR90）

技術參數(shù)

產品優(yōu)勢

l量程寬：能夠覆蓋較廣的真空度測量范圍，從高真空到超高真空都能進行有效的測量，適用于多種不同的真空應用場景，如半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等。

l精度較高：在其測量范圍內，能夠提供相對準確的真空度測量結果，為工藝控制和實驗研究提供可靠的數(shù)據支持。

l響應速度快：可以快速地對真空度的變化做出響應，及時反映系統(tǒng)內真空狀態(tài)的改變，有助于實時監(jiān)控和調整真空系統(tǒng)。

l穩(wěn)定性好：萊寶作為有名的真空技術品牌，ITR90 熱陰極真空計在設計和制造上遵循嚴格的標準，具有良好的穩(wěn)定性和可靠性，能夠長時間穩(wěn)定工作。

應用領域

l半導體行業(yè)：在半導體芯片制造過程中的光刻、蝕刻、鍍膜等工藝環(huán)節(jié)，需要精確控制真空度，ITR90 熱陰極真空計可用于監(jiān)測和控制真空系統(tǒng)，確保工藝的一致性和產品質量。

l真空鍍膜：如光學鍍膜、金屬鍍膜等，精確的真空度對于鍍膜的質量和性能至關重要，ITR90 可幫助操作人員準確掌握真空狀態(tài)，實現(xiàn)理想的鍍膜效果。

l科研領域：在物理、化學、材料科學等科研實驗中，許多實驗需要在高真空或超高真空環(huán)境下進行，ITR90 熱陰極真空計可為實驗提供準確的真空度測量，保障實驗的順利進行和數(shù)據的準確性。