化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>氣體流量計(jì)>MC-7000C 琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器 流量計(jì)
MC-7000C 琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器 流量計(jì)
| 參考價(jià) | ￥ 35000 |
| 訂貨量 | ≥100件 |
- 公司名稱 池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MC-7000C
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/2/14 10:17:34
- 訪問次數(shù) 356
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池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 節(jié)流式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 3萬-5萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器 流量計(jì) MC-7000C
琳得科LINTEC 高速響應(yīng)質(zhì)量控制器 流量計(jì) MC-7000C
池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。
公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。
池田屋主要經(jīng)營(yíng)日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測(cè)儀器、測(cè)量?jī)x器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、*的管理團(tuán)隊(duì)，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù)，
服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。
高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)時(shí)間為 200 毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。
熱傳感器實(shí)現(xiàn)100毫秒（典型值）的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度高，可達(dá)±1.0%SP，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
使用示例
高速蝕刻工藝
在半導(dǎo)體制造過程中，需要在實(shí)現(xiàn)微型化的同時(shí)提高產(chǎn)量。對(duì)于控制反應(yīng)氣體流速的質(zhì)量流量控制器而言，縮短流量控制啟動(dòng)（上升）時(shí)間的需求也日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測(cè)氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)了200毫秒的超高速響應(yīng)。由于是非接觸式，因此可以對(duì)腐蝕性氣體的流量測(cè)量進(jìn)行高速流量控制。
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 準(zhǔn)確性 | 控制范圍 | 最小滿量程 | 最大滿量程 | 海豹 |
| 5~50℃ | 50千帕 | 300千帕 | ±1%標(biāo)準(zhǔn)差 | 2～100%滿量程 | 5SCCM | 20秒 | 金 |
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