掃描探針顯微鏡(SPM)是在樣品表面用微小的探針進(jìn)行掃描，從而實(shí)現(xiàn)高倍率觀察樣品三維

形貌和局部物理特性的顯微鏡總稱。

SPM-9700是性能更高、速度更快、操作更簡單的新一代掃描探針顯微鏡。

維持高剛性，光杠桿系統(tǒng)可作為一體滑動(dòng) 

·更換樣品時(shí)也可保持激光穩(wěn)定照射懸臂。 

·不受震動(dòng)、聲音等外界影響，無需專門的防護(hù)罩。 

·內(nèi)置減震器。

在維持高剛性的同時(shí)，又成功地開放了樣品周圍的空間 

·無需拆除懸臂架即可更換樣品。 

·在SPM觀測時(shí)，也可接近樣品。

·無關(guān)樣品的厚薄，可自動(dòng)驅(qū)近到最適宜的觀測位置。

掃描探針顯微鏡

縮短觀察時(shí)間  高通量掃描
通過新開發(fā)的可快速響應(yīng)的HT掃描器以及軟件與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的優(yōu)化，成功實(shí)現(xiàn)以傳統(tǒng)設(shè)備5倍以上的速度（與本公司相比）獲取圖像數(shù)據(jù)。

掃描探針顯微鏡 掃描器可簡單更換，因而可使用傳統(tǒng)掃描器。另外，可通過在原SPM-9700上追加HT掃描器，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高效率分析。

分析案例

• 金屬蒸鍍膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的掃描速度對(duì)金屬蒸鍍膜的表面形貌進(jìn)行觀察。畫質(zhì)及表面粗糙度的分析結(jié)果相同。

• 光柵溝槽形狀檢測

以1Hz和5Hz的掃描速度對(duì)光柵的表面形貌進(jìn)行觀察。經(jīng)過斷面形狀分析，溝槽形狀檢測結(jié)果均相同。