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KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)
| 參考價 | ￥50000-￥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2025/3/9 22:57:56
- 訪問次數(shù) 271
KLA Candela® 6300光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)光學(xué)表面缺陷
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KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)基于激光的硬盤驅(qū)動器基板檢測系統(tǒng)，可測量整個磁盤的表面形貌，微觀粗糙度和波紋度，并檢查晶圓表面是否存在缺陷。自動化模型Candela 6340配有片盒對片盒傳輸系統(tǒng)。
KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)利用多通道光學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)合激光穩(wěn)定性管理技術(shù)，以及強(qiáng)大的光學(xué)表面測量功能，對邊緣roll-off、紋理/拋光均勻性、高密度互連的表征以及劃痕和微粒進(jìn)行檢測。檢測和量測系統(tǒng)的光學(xué)掃描技術(shù)可在徑向和切線方向上對整個磁盤的形貌進(jìn)行量測，并允許制造商使用單一的工具來測量整個空間光譜。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪聲以及新的光學(xué)設(shè)計(jì)消除了對用于缺陷檢測的濺射玻璃基板的需求，從而可以識別<0.1Å的粗糙度變化。
功能
提供業(yè)界最寬的空間帶寬和優(yōu)秀的本底噪聲
測量切向、徑向粗糙度和波紋度
可重復(fù)量測金屬和玻璃介質(zhì)并與AFM測量結(jié)果相關(guān)聯(lián)
對不同尺寸的磁盤進(jìn)行快速的全晶圓檢測
對輕微劃痕、沾污和微粒檢測具有高靈敏度
創(chuàng)新型光學(xué)表面分析(OSA)技術(shù)
可提供手動(6310) 或全自動(6340)
應(yīng)用案例
粗糙度和波紋度分析
缺陷檢測
劃痕和隆起檢查
微粒和沾污檢測
微觀波紋度測量
選項(xiàng)
精密的金剛石劃線
離線軟件
大尺寸軟件許可證
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