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國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 寧波舜宇儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/4/29 10:05:35
  • 訪問次數(shù) 531

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寧波舜宇儀器有限公司是舜宇光學(xué)科技集團(tuán)的全資子公司,公司設(shè)有“顯微儀器”、“智能裝備”、“半導(dǎo)體裝備”三大事業(yè)部。

顯微儀器事業(yè)部主要從事光學(xué)顯微鏡、“三化”(數(shù)碼化、自動(dòng)化、智能化)顯微鏡的研發(fā)、制造、營銷和服務(wù),產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研、醫(yī)療、教學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域,并與蔡司、奧林巴斯、徠卡等保持長期的合作關(guān)系。

智能裝備事業(yè)部專注于光學(xué)成像、軟件與圖像算法、精密機(jī)械與自動(dòng)化控制等技術(shù)的研究與應(yīng)用,致力于自動(dòng)化檢測和精密裝配設(shè)備的開發(fā)與制造,廣泛應(yīng)用于手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、車載產(chǎn)業(yè)鏈、面板產(chǎn)業(yè)制造等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體裝備事業(yè)部聚焦半導(dǎo)體量檢測設(shè)備和儀器的開發(fā)與制造,產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,已與國內(nèi)頭部半導(dǎo)體企業(yè)建立合作關(guān)系,并將持續(xù)為中國半導(dǎo)體量檢測事業(yè)貢獻(xiàn)力量。








激光共聚焦顯微鏡,生物顯微鏡,熒光顯微鏡,金相顯微鏡,體視顯微鏡,偏光顯微鏡,數(shù)碼顯微鏡,工具顯微鏡

國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對(duì)半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

一個(gè)晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型,多類配置,分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作舒適、簡便。
1.360°宏觀檢查:
AWL系列具有宏觀檢查手臂,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°,晶背 1 最大傾斜角度 90°,晶背 2最大傾斜角度 160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
2.人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì):
LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn),可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率。
3.精密微觀檢查:
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng),可排查 μm 級(jí)異常,諸如孔未開出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
4.AWL 應(yīng)用領(lǐng)域:


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