——專為晶圓級(jí)潔凈環(huán)境設(shè)計(jì)，助力半導(dǎo)體良率與產(chǎn)能雙提升  

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)的核心挑戰(zhàn)：微粒污染與靜電吸附

行業(yè)數(shù)據(jù)警示：SEMI報(bào)告指出，真空泵系統(tǒng)貢獻(xiàn)了28%的潔凈室微粒污染（≥0.1μm），其中葉片磨損微粒占比超65%。（來(lái)源：SEMI S23-0219標(biāo)準(zhǔn)修訂案）  

里其樂(lè)防靜電葉片：從材料到認(rèn)證的全鏈路潔凈方案  
（技術(shù)解析結(jié)合SEMI認(rèn)證要求，強(qiáng)化合規(guī)性價(jià)值）  
防靜電核心技術(shù)：雙重電荷消散機(jī)制  
? 導(dǎo)電碳纖維基體：  
- 基材嵌入納米碳管網(wǎng)絡(luò)，體積電阻率穩(wěn)定在103-10?Ω·cm（SEMI標(biāo)準(zhǔn)：＜10?Ω·cm）  
- 表面靜電消散時(shí)間＜0.5秒（ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)要求＜2秒）  

? 離子注入涂層：  
- 采用等離子體輔助沉積（PECVD）工藝，形成類金剛石碳（DLC）保護(hù)層  
- 表面電阻率≤10?Ω/sq，摩擦起電壓＜5V（普通葉片＞2000V）  


SEMI認(rèn)證的三大核心突破  
? 材料潔凈度：  
- 通過(guò)SEMI F47-0308氣體兼容性測(cè)試，耐蝕性覆蓋Cl?、CF?等蝕刻氣體  
- 總揮發(fā)性有機(jī)物（TVOC）釋放量＜1μg/g，符合SEMI E49-1103標(biāo)準(zhǔn)  

? 微粒控制：  
- 葉片表面經(jīng)磁流變拋光（MRF），粗糙度Ra≤0.05μm  
- 動(dòng)態(tài)運(yùn)行中微粒釋放量＜5個(gè)/分鐘（0.1μm以上，SEMI E129-1107 Class 0級(jí)）  

? 長(zhǎng)期穩(wěn)定性：  
- 加速老化測(cè)試顯示，1000小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)后電阻率波動(dòng)＜±8%  
- 通過(guò)300次高溫（150℃）-低溫（-40℃）循環(huán)沖擊測(cè)試無(wú)性能衰減  

實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)：晶圓廠真空系統(tǒng)改造對(duì)比  
（以頭部客戶案例佐證技術(shù)實(shí)效）  

案例：12英寸邏輯芯片制造車間升級(jí)項(xiàng)目  
- 原產(chǎn)線痛點(diǎn)：  
  ? 每月因微粒污染導(dǎo)致的晶圓返工率達(dá)1.2%  
  ? 真空泵每400小時(shí)需停機(jī)清潔，年損失產(chǎn)能320小時(shí)  

-解決方案：  
  ? 替換12臺(tái)干泵的里其樂(lè)SEMI-Certified™防靜電葉片  
  ? 加裝葉片磨損在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)  

改造后數(shù)據(jù)：  

SEMI認(rèn)證的深層價(jià)值：合規(guī)性保障與成本優(yōu)化  
（將認(rèn)證轉(zhuǎn)化為企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益）  
1. 規(guī)避合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)  
- 滿足臺(tái)積電、三星等頭部Foundry的供應(yīng)商準(zhǔn)入要求  
- 通過(guò)SEMI E142-1107設(shè)備數(shù)據(jù)追溯標(biāo)準(zhǔn)，支持全生命周期質(zhì)量追溯  

2. 綜合成本降低  
- 直接節(jié)?。耗昃S護(hù)成本下降52%（以月產(chǎn)能3萬(wàn)片的8英寸廠為例）  
- 隱性收益：  
  ? 晶圓良率提升0.7%-1.2%  
  ? 減少潔凈室FFU過(guò)濾網(wǎng)更換頻率（年節(jié)省耗材成本超80萬(wàn)元）  


專屬技術(shù)服務(wù)：從認(rèn)證到落地的全程護(hù)航  
（強(qiáng)化B2B服務(wù)差異化競(jìng)爭(zhēng)力）  
- SEMI合規(guī)咨詢：免費(fèi)提供設(shè)備升級(jí)合規(guī)性預(yù)評(píng)估報(bào)告  
-潔凈室適配測(cè)試：48小時(shí)出具葉片-設(shè)備-工藝匹配驗(yàn)證數(shù)據(jù)  
- 快速響應(yīng)網(wǎng)絡(luò)：  
  ? 中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)、新加坡保稅倉(cāng)支持4小時(shí)極速交付  
  ? 7×24小時(shí)駐廠工程師應(yīng)急支持  

半導(dǎo)體制造專用里其樂(lè)防靜電葉片