VC202 Rietschle里其樂(lè)半導(dǎo)體制造高純度真空泵

參考價(jià)	￥ 35980
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 東莞市飛粵真空科技有限公司
品牌 Rietschle/里其樂(lè)
型號(hào) VC202
產(chǎn)地 中國(guó)東莞
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間 2025/4/16 19:32:34
訪問(wèn)次數(shù) 49

產(chǎn)品標(biāo)簽

晶圓制造真空系統(tǒng)蝕刻工藝真空泵半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備芯片封裝真空除泡 CVD真空環(huán)境控制

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

東莞市飛粵真空科技有限公司位于廣東制造名城-東莞市寮步鎮(zhèn)，公司成立于2012年，是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)、銷(xiāo)售真空設(shè)備及進(jìn)口真空泵維修、提供真空系統(tǒng)解決方案的企業(yè)，為廣大用戶(hù)提供可靠的、安全易用的真空設(shè)備及優(yōu)質(zhì)專(zhuān)業(yè)的服務(wù)。

公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍，優(yōu)質(zhì)的真空泵產(chǎn)品、專(zhuān)業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù)，為客戶(hù)提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù)。
　公司主要經(jīng)營(yíng)進(jìn)口真空泵、進(jìn)口真空泵配件、真空泵維修保養(yǎng)，真空泵機(jī)組及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝；主營(yíng):德國(guó)BUSCH普旭，Rietschle里其樂(lè)/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國(guó)BOC Edwards愛(ài)德華，日本ULVAC愛(ài)發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國(guó)ALCATEL阿爾卡特，德國(guó)Pfeiffer普發(fā),韓國(guó)KODIVAC大亞、DOVAC斗一等國(guó)際；

飛粵真空定制的真空系統(tǒng)廣泛用于電子半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物制藥、食品業(yè)、印刷業(yè)、汽車(chē)、自動(dòng)化工程等行業(yè)。專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)可為不同需求客戶(hù)定制真空系統(tǒng)（廠務(wù)真空系統(tǒng)），設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試服務(wù)。

展開(kāi)

BUSCH普旭，Rietschle里其樂(lè)/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國(guó)BOC Edwards愛(ài)德華，日本ULVAC愛(ài)發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國(guó)ALCATEL阿爾卡特，Pfeiffer普發(fā)等。

詳細(xì)信息 在線詢(xún)價(jià)

產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	產(chǎn)品類(lèi)型	有油泵
價(jià)格區(qū)間	3萬(wàn)-5萬(wàn)	儀器種類(lèi)	旋片泵
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥

Rietschle里其樂(lè)半導(dǎo)體制造高純度真空泵

產(chǎn)品性能特點(diǎn)
1. 0污染干式運(yùn)行
- 無(wú)油螺桿技術(shù)（VSH/VS系列）通過(guò)SEMI F47認(rèn)證，避免碳?xì)浠衔镂廴?，滿(mǎn)足晶圓廠Class 1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
2. 耐腐蝕性
- 全氟橡膠密封+316L不銹鋼流道設(shè)計(jì)，耐受Cl?、HF、SiH?等蝕刻/沉積工藝中的強(qiáng)腐蝕性氣體。
3. 高真空穩(wěn)定性
- 真空度可達(dá)0.01 mbar，波動(dòng)范圍±0.5%，保障薄膜沉積（PVD/CVD）、離子注入工藝的均勻性。
4. 抗微振動(dòng)設(shè)計(jì)
- 精密動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子與減震底座，振動(dòng)值＜2.5 mm/s，防止納米級(jí)制程中的設(shè)備精度偏移。
5. 智能監(jiān)控系統(tǒng)
- 集成IoT傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、壓力、氣體成分，支持預(yù)測(cè)性維護(hù)與工藝數(shù)據(jù)追溯。

電子半導(dǎo)體行業(yè)核心應(yīng)用場(chǎng)景
1. 晶圓制造前道工藝
- 光刻膠涂覆真空吸附、蝕刻腔體抽氣（干法蝕刻）、化學(xué)氣相沉積（CVD）真空環(huán)境維持。
2. 封裝測(cè)試環(huán)節(jié)
- 真空貼膜、芯片鍵合真空除泡、散熱片高精度貼合工藝。
3. 特種氣體處理
- 安全抽排砷烷（AsH?）、磷烷（PH?）等高危氣體，配備尾氣凈化聯(lián)鎖系統(tǒng)。
4. 真空鍍膜設(shè)備
- 為OLED蒸鍍、磁控濺射提供穩(wěn)定真空基礎(chǔ)壓力（≤1×10?? mbar）。
5. 設(shè)備腔體預(yù)抽
- 快速將腔體真空度從大氣壓降至工藝閾值，縮短設(shè)備準(zhǔn)備時(shí)間30%以上。

核心優(yōu)勢(shì)總結(jié)
? 潔凈度保障：無(wú)油設(shè)計(jì)，通過(guò)ISO 8573-1 Class 0認(rèn)證，杜絕微粒污染風(fēng)險(xiǎn)。
? 工藝適配性：真空范圍覆蓋0.01~1000 mbar，適配28nm至3nm制程需求。
? 長(zhǎng)壽命運(yùn)行：特殊涂層轉(zhuǎn)子抗腐蝕壽命超60,000小時(shí)，MTBF超25,000小時(shí)。
? 節(jié)能低碳：比油擴(kuò)散泵節(jié)能65%，助力半導(dǎo)體企業(yè)達(dá)成ESG目標(biāo)。

客戶(hù)案例參考（示例）
某頭部晶圓代工廠應(yīng)用成果：
- 在12英寸硅片CVD工藝中替換傳統(tǒng)渦輪分子泵，采用Rietschle VSH 200干式螺桿真空泵：
? 真空系統(tǒng)能耗降低58%，年省電費(fèi)超500萬(wàn)元
? 晶圓表面污染率從0.12%降至0.03%，良率提升1.2%
? 實(shí)現(xiàn)氣體泄漏率<1×10?? Pa·m3/s，工藝穩(wěn)定性達(dá)水平

Rietschle里其樂(lè)真空泵以 0污染、耐腐蝕、超穩(wěn)定三大核心價(jià)值，成為半導(dǎo)體制造從成熟制程到封裝的關(guān)鍵支撐。其技術(shù)設(shè)計(jì)深度契合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)工藝潔凈度、設(shè)備可靠性及能耗控制的追求，助力企業(yè)突破技術(shù)瓶頸、降低生產(chǎn)成本并加速智能化升級(jí)。Rietschle里其樂(lè)半導(dǎo)體制造高純度真空泵