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TG50F Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵

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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 有油泵
價(jià)格區(qū)間 1萬-2萬 儀器種類 分子泵
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池

Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵


  • 全面安裝

  • 輕巧設(shè)計(jì)

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動(dòng)

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

  • 多種通信模式

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣,離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理,表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析,試驗(yàn)裝置

  • 管球制造,光學(xué)部件制造

  • 加速器,放射線設(shè)施,核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。


吸氣口法蘭VG65/ISO-R63/CF63
排氣速度N2 (L/s)51
N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)49
H2 (L/s)12
最大壓縮比N21.4×107
H25×102
極限壓力VG?ISO-R/CF (Pa)<3×10-6
VG?ISO-R/CF (Torr)<2.3×10-8
最大氣體流量※1N2 (sccm)80
啟動(dòng)時(shí)間(min) 1-1.5
停止時(shí)間(min)1-1.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)1330/10
推薦輔助泵(L/min)≧50
安裝角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
  • ※1:輔助泵的容量是100L/min情況下的最大容許流量

  • [ 使用環(huán)境溫度 ]

  • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10~35℃。

  • [ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]

  • 由于排氣的氣體種類不同,可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。




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