TG350F Osaka大阪真空高性能進(jìn)口小巧渦輪分子泵
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號(hào) TG350F
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/19 15:55:28
- 訪問次數(shù) 251
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
Osaka大阪真空高性能進(jìn)口小巧渦輪分子泵
Osaka大阪真空高性能進(jìn)口小巧渦輪分子泵
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
經(jīng)400次大氣沖擊驗(yàn)證多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗(yàn)裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排氣速度 | VG/ISO-R?CF N2 (L/s) | 350/330 |
| VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 330/310 | |
| VG/ISO-R?CF H2 (L/s) | 210 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時(shí)間 | (min) | 5-6.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對(duì)應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢銷售人員。
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