TG1400F OsakaVacuum日本大阪真空節(jié)能渦輪分子泵
- 公司名稱 玉崎科學儀器(深圳)有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號 TG1400F
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2025/4/19 16:30:35
- 訪問次數(shù) 227
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真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備
產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
應用領域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
OsakaVacuum日本大阪真空節(jié)能渦輪分子泵
OsakaVacuum日本大阪真空節(jié)能渦輪分子泵
輕巧設計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
經(jīng)400次大氣沖擊驗證多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導體制造
電子槍排氣,離子源排氣
FPD制造
表面處理,表面改質
各種電子部件的制造
分析,試驗裝置
管球制造,光學部件制造
加速器,放射線設施,核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時,請選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。
型號 | TG1400F | |
吸氣口法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
排氣速度 | N2 (L/s) | 1400 |
N2(保護金網(wǎng)付) (L/s) | 1300 | |
H2 (L/s) | 750 | |
最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | |
極限壓力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
最大氣體流量※1 | (sccm) | 450 |
啟動時間 | (min) | 5.5-7 |
停止時間 | (min) | 15-18 |
允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 |
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧250 |
安裝角度 | 任意 | |
重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 29/30 |
控制器型號 | TC1103 |
※1:輔助泵的容量是500L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10~35℃。
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同,可能導致泵內(nèi)零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。
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