TG390M Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號 TG390M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/19 16:51:25
- 訪問次數(shù) 269
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 | 儀器種類 | 分子泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池 |
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵
■輕巧設(shè)計(jì)
■節(jié)能
■分子泵停止與啟動時(shí)間短
■附帶維護(hù)警報(bào)機(jī)能
■低振動
■無需調(diào)整
■自動校準(zhǔn)
■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
■大流量排氣
■多種通信模式
■符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
?半導(dǎo)體制造?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質(zhì)
?各種電子部件的制造
?分析，試驗(yàn)裝置
?管球制造，光學(xué)部件制造
?加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-B100 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 340 |
| N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 320 | |
| H2 (L/s) | 290 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.5×103 | |
| 極限壓力 | VG?ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 2000 |
| 啟動時(shí)間 | (min) | 2~3 |
| 停止時(shí)間 | (min) | 4~5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa / Torr) | 400 / 3 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧160 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF(kg) | 14/17 |
| 特殊規(guī)格 | -耐腐蝕型 -耐反應(yīng)生成物型 TG-MI -極低振動型 TG-ML | |
※1：輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量
[ 使用周囲溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。
關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
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