SV750 半導(dǎo)體制造到科研設(shè)備萊寶真空泵

參考價(jià)	￥ 21000
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 東莞市飛粵真空科技有限公司
品牌 Leybold/德國(guó)萊寶
型號(hào) SV750
產(chǎn)地 中國(guó)東莞
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2025/4/23 10:44:55
訪問(wèn)次數(shù) 91

產(chǎn)品標(biāo)簽

離子注入EUV光刻 OLED蒸鍍、薄膜沉積平板顯示制造半導(dǎo)體制造

在線交流發(fā)送詢價(jià) 查看電話同類產(chǎn)品

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

東莞市飛粵真空科技有限公司位于廣東制造名城-東莞市寮步鎮(zhèn)，公司成立于2012年，是一家專業(yè)生產(chǎn)、銷售真空設(shè)備及進(jìn)口真空泵維修、提供真空系統(tǒng)解決方案的企業(yè)，為廣大用戶提供可靠的、安全易用的真空設(shè)備及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)。

公司擁有一支集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后為一體的強(qiáng)大隊(duì)伍，優(yōu)質(zhì)的真空泵產(chǎn)品、專業(yè)的真空知識(shí)、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗(yàn)以及快速的服務(wù)，為客戶提供理想、完善的真空解決方案并贏得了高度贊譽(yù)。
　公司主要經(jīng)營(yíng)進(jìn)口真空泵、進(jìn)口真空泵配件、真空泵維修保養(yǎng)，真空泵機(jī)組及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝；主營(yíng):德國(guó)BUSCH普旭，Rietschle里其樂(lè)/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國(guó)BOC Edwards愛(ài)德華，日本ULVAC愛(ài)發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國(guó)ALCATEL阿爾卡特，德國(guó)Pfeiffer普發(fā),韓國(guó)KODIVAC大亞、DOVAC斗一等國(guó)際；

飛粵真空定制的真空系統(tǒng)廣泛用于電子半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、生物制藥、食品業(yè)、印刷業(yè)、汽車(chē)、自動(dòng)化工程等行業(yè)。專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)可為不同需求客戶定制真空系統(tǒng)（廠務(wù)真空系統(tǒng)），設(shè)計(jì)、安裝、調(diào)試服務(wù)。

展開(kāi)

BUSCH普旭，Rietschle里其樂(lè)/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國(guó)BOC Edwards愛(ài)德華，日本ULVAC愛(ài)發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法國(guó)ALCATEL阿爾卡特，Pfeiffer普發(fā)等。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天

萊寶真空泵在電子科技領(lǐng)域的核心應(yīng)用解析：從半導(dǎo)體制造到科研設(shè)備

萊寶真空泵通過(guò)提供高穩(wěn)定、無(wú)污染的真空環(huán)境，成為電子科技行業(yè)的核心設(shè)備，覆蓋從芯片制造到顯示技術(shù)的全產(chǎn)業(yè)鏈。隨著電子器件向微型化、高性能化發(fā)展，萊寶持續(xù)創(chuàng)新真空技術(shù)，推動(dòng)行業(yè)突破物理極限。半導(dǎo)體制造到科研設(shè)備萊寶真空泵

1. 半導(dǎo)體制造

半導(dǎo)體制造是萊寶真空泵的核心應(yīng)用領(lǐng)域，涉及多個(gè)高精度工藝環(huán)節(jié)：
- 薄膜沉積：
- 化學(xué)氣相沉積（CVD）：用于生成絕緣層（如SiO?）或?qū)щ妼樱ㄈ缍嗑Ч瑁?，萊寶渦輪分子泵提供高真空環(huán)境以確保薄膜均勻性。
- 物理氣相沉積（PVD）：在濺射鍍膜中，真空泵維持10??~10?? mbar的真空度，確保金屬層（如鋁、銅）的高質(zhì)量附著。
- 離子注入：真空泵用于去除雜質(zhì)氣體，保證離子束精確摻雜，提升芯片電性能。
- 光刻與蝕刻：在等離子蝕刻（Dry Etching）中，真空系統(tǒng)快速排出反應(yīng)氣體副產(chǎn)物，避免殘留污染。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：萊寶的干式螺桿泵（如SCREWLINE系列）無(wú)油污染，適合敏感工藝；渦輪分子泵（如MAGiNTEGRA）具備高抽速和極限真空（<10?? mbar），滿足制程（如5nm以下）需求。

2. 平板顯示制造（OLED/LCD）
在OLED和液晶面板生產(chǎn)中，真空泵用于：
- OLED蒸鍍：在高真空（10?? mbar）下蒸鍍有機(jī)材料，萊寶泵確保材料純度和像素精度，避免氧化失效。
- 液晶灌注：真空環(huán)境排除氣泡，保證液晶均勻填充，提升顯示一致性。
- 透明導(dǎo)電層（ITO）鍍膜：磁控濺射工藝中，真空泵維持穩(wěn)定壓力，確保ITO薄膜的導(dǎo)電性和透光率。

應(yīng)用案例：萊寶的COBRA干式渦旋泵用于蒸鍍?cè)O(shè)備，耐腐蝕且免維護(hù)，適合有機(jī)材料的高要求環(huán)境。

3. 光伏產(chǎn)業(yè)（太陽(yáng)能電池）
-薄膜太陽(yáng)能電池（如CIGS）：真空泵用于CVD/PVD鍍膜，形成吸光層和透明電極，提升光電轉(zhuǎn)換效率。
- 硅片加工：在晶硅電池的擴(kuò)散爐中，真空系統(tǒng)控制磷摻雜過(guò)程，優(yōu)化PN結(jié)質(zhì)量。

技術(shù)特點(diǎn)：萊寶的RUVAC羅茨泵與旋片泵組合，實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高能效，降低生產(chǎn)成本。

4. 電子元件封裝與測(cè)試
- 氣密封裝：真空環(huán)境防止芯片氧化，萊寶泵用于陶瓷/金屬封裝前的預(yù)抽真空（10?3 mbar）。
- 真空回流焊：減少焊點(diǎn)氣泡，提升連接可靠性，適用于高密度封裝（如BGA、CSP）。
-失效分析：掃描電鏡（SEM）等設(shè)備依賴真空泵提供無(wú)干擾成像環(huán)境。

科研設(shè)備
-電子顯微鏡（SEM/TEM）：渦輪分子泵維持超高真空（10??~10?1? mbar），確保電子束無(wú)散射。
- 粒子加速器：萊寶泵用于束流管道的真空維持，減少粒子碰撞損失。
- 量子計(jì)算：超導(dǎo)量子比特需要在極低溫與超高真空環(huán)境下運(yùn)行，真空泵保障系統(tǒng)穩(wěn)定性。

萊寶真空泵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)
-高潔凈度：干式泵技術(shù)避免油污染，適合潔凈室環(huán)境。
- 高效節(jié)能：變頻驅(qū)動(dòng)（如DUO系列）降低能耗30%以上。
- 智能控制：集成傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控壓力、溫度，支持IoT遠(yuǎn)程運(yùn)維。
- 長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)：耐腐蝕材料和模塊化結(jié)構(gòu)減少停機(jī)時(shí)間。

行業(yè)趨勢(shì)與未來(lái)方向
- 極紫外光刻（EUV）：隨著EUV光刻機(jī)普及，萊寶研發(fā)更高抽速的泵以應(yīng)對(duì)氫氣等輕氣體處理。
- 第三代半導(dǎo)體（GaN/SiC）：高溫CVD工藝需要耐高溫真空解決方案。
- Mini/Micro LED：更小像素間距要求真空系統(tǒng)精度進(jìn)一步提升。半導(dǎo)體制造到科研設(shè)備萊寶真空泵