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晶圓濕法清洗設備

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號
  • 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/19 13:58:10
  • 訪問次數(shù) 86

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

非標定制 根據(jù)客戶需求定制

在半導體芯片制造的精密流程中,晶圓濕法清洗設備宛如一位嚴謹?shù)摹皾崈粜l(wèi)士”,為高品質(zhì)芯片的生產(chǎn)保駕護航。

這款設備的核心使命是清除晶圓表面的各類污染物,從初始的光刻膠殘留、到蝕刻與沉積工藝后附著的金屬微粒、氧化物以及有機雜質(zhì)等,任何細微的污染都可能導致芯片電路故障或性能劣化,而它能精準應對這些挑戰(zhàn)。

其技術原理融合了化學與物理的雙重作用?;瘜W層面,依據(jù)不同污染物特性,配備特制的清洗液,如酸性溶液可溶解金屬雜質(zhì),堿性溶液能有效去除油污,配合精確的溫度調(diào)控,加速化學反應,將污染物分解于無形。物理方面,超聲波技術是關鍵助力,通過高頻振動產(chǎn)生空化效應,在晶圓表面形成無數(shù)微小氣泡,瞬間破裂產(chǎn)生強大沖擊力,將頑固污漬從微小縫隙與凹凸結構中震落,實現(xiàn)清洗。

設備結構設計精巧,采用多槽串聯(lián)模式,依次涵蓋預清洗、主清洗、漂洗與干燥環(huán)節(jié)。預清洗槽初步去除大顆粒塵埃與易除雜質(zhì),為后續(xù)深度清潔奠基;主清洗槽中,優(yōu)化的流體動力學設計讓清洗液均勻覆蓋晶圓,確保每寸表面都能充分接觸化學藥劑;漂洗槽利用純凈水多次置換,清除殘留清洗液;最后的干燥槽運用離心旋轉(zhuǎn)或溫和氮氣吹掃,快速干燥晶圓,避免水痕殘留造成新的問題。

智能化操控系統(tǒng)賦予設備便捷性與精準性。操作人員可通過觸控界面輕松設定清洗參數(shù),如時間、溫度、超聲波功率等,系統(tǒng)自動監(jiān)測并實時反饋清洗狀態(tài),一旦出現(xiàn)異常即刻報警提示,保障生產(chǎn)過程穩(wěn)定可靠。

在環(huán)??剂可?,設備配備的廢液處理單元,對使用后的化學廢液分類回收、凈化處理,降低對環(huán)境的影響,契合綠色制造理念。

無論是應用于制程的芯片研發(fā),還是大規(guī)模量產(chǎn)的工業(yè)場景,這款晶圓濕法清洗設備憑借性能、精細工藝與智能設計,持續(xù)為半導體產(chǎn)業(yè)輸出潔凈無暇的晶圓,助力芯片制造邁向更高精尖,書寫微觀世界里的潔凈傳奇。




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