MU100XE 干式真空泵
- 公司名稱(chēng) 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/20 11:35:45
- 訪問(wèn)次數(shù) 201
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類(lèi) | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業(yè)（KASHIYAMA）MU-XE 系列中的高性能干式真空泵，專(zhuān)為半導(dǎo)體、液晶顯示器、LED 和光伏行業(yè)設(shè)計(jì)，具備無(wú)油潔凈、節(jié)能環(huán)保、結(jié)構(gòu)緊湊、易于維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。憑借其可靠的性能和穩(wěn)定的運(yùn)行能力，MU100XE 已廣泛應(yīng)用于多種嚴(yán)苛的工藝環(huán)境中。
技術(shù)參數(shù)
抽速：1660 L/min
極限壓力：1.5 Pa
電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz
功耗：約 0.25 kW
尺寸：450 × 230 × 275 mm
重量：約 60 kg
產(chǎn)品特點(diǎn)
無(wú)油干式設(shè)計(jì)：無(wú)需油封，避免油蒸汽污染，特別適合潔凈室和敏感工藝環(huán)境。
高抽速、低能耗：優(yōu)化的Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，提供高達(dá)1660 L/min的穩(wěn)定抽速，節(jié)能高效。
結(jié)構(gòu)緊湊，易集成：體積小巧，適用于空間受限的自動(dòng)化設(shè)備或成套系統(tǒng)集成。
超低維護(hù)成本：部件壽命長(zhǎng)，維護(hù)周期延長(zhǎng)，降低運(yùn)營(yíng)成本。
適配性強(qiáng)：可兼容多種工藝氣體環(huán)境，適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造設(shè)備（刻蝕、沉積、蝕刻等）
液晶顯示器（LCD）生產(chǎn)線(xiàn)
太陽(yáng)能光伏組件制造
LED 芯片制造
電子封裝與測(cè)試設(shè)備
真空鍍膜和涂層系統(tǒng)
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