蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)
- 公司名稱 蘇州福佰特儀器科技有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/5/28 15:30:13
- 訪問次數(shù) 58
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實(shí)驗(yàn)室儀器檢測與整體方案測試：RoHS2.0整體測試方法、GCMS氣相質(zhì)譜、LC液相、FT-IR紅外光譜、EDX能量色散光譜、接觸角測量儀、影像測量儀等
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 功率 | 0-600W |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 30萬-50萬 | 控制方式 | PLC |
| 氣路 | 標(biāo)配兩路,可定制 | 射頻頻率 | 13.56MHzGhz |
| 樣品腔材質(zhì) | 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、304不銹鋼） | 樣品腔尺寸 | 450×450×500mm（寬×高×深）cm |
| 樣品腔容積 | 2層 共6個(gè)空間L | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件,綜合 |
提高材料的導(dǎo)電性能：等離子清洗后的材料表面，能夠去除表面的雜質(zhì)和氧化物，從而提高材料的導(dǎo)電性能。
等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，如：
- 電子行業(yè)：提高電子元器件的附著力和導(dǎo)電性能。
- 汽車制造：提高汽車零部件的耐腐蝕性和附著力。
- 醫(yī)療器械：提高醫(yī)療器械表面的無菌性和生物相容性。
- 航空航天：提高航空航天器材的表面性能和耐腐蝕性。
總之，等離子清洗機(jī)是一款非常實(shí)用的設(shè)備，能夠大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能
真空等離子主機(jī) | ||
設(shè)備尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
重量 | 500Kg | |
需求電源 | AC380V，50/60Hz，5線，30A | |
等離子發(fā)生器規(guī)格 | ||
電源功率 | 射頻 | 中頻 |
0~600W | 0-1000W | |
電源頻率 | 13.56MHz | 40 KHz |
真空系統(tǒng) | ||
真空泵 | 飛越雙級旋片泵（油泵）：60m3/h | |
真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 | |
材質(zhì) | 鋁合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 軍工級焊接密封 | |
腔體內(nèi)部尺寸 | 450×450×500mm（寬×高×深） | |
電極板有效尺寸 | 410×400mm（寬×深） | |
可用空間間距 | 100mm | |
電極板布置方式 | 豎直電極板 | |
工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配(鋁材、304不銹鋼） | |
工作空間 | 2層 共6個(gè)空間 | |
工藝氣體 | ||
流量范圍 | 0~300SCCM | |
工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制 | |
控制系統(tǒng) | ||
系統(tǒng)控制 | PLC | |
交付方式 | 7寸觸控屏幕 | |
等離子清洗機(jī)原理：通過對工藝氣體施加電場使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括： 離子、電子、原子、自由 活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
在等離子清洗機(jī)中，攝像頭模組被放置在清洗室中，通過等離子體的作用，將模組表面的污垢和有機(jī)物分解成無害的氣體和水。由于等離子體的高能量，清洗效果非常明顯，可以將模組表面的污垢和有機(jī)物去除，使其恢復(fù)原有的光潔度和透明度。同時(shí)，等離子清洗機(jī)的清洗過程非?？焖?，可以在短時(shí)間內(nèi)完成清洗，提高生產(chǎn)效率。
廠務(wù)規(guī)格要求
廠務(wù)規(guī)格要求 | |
交流電源規(guī)格 | 電源：AC380V，50/60Hz，5線，16A |
廠務(wù)排氣 | 流量：2.0 m3/min |
廠務(wù)工作氣體要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：6×4 mm 材質(zhì)：PU管 純度：99.99%以上 |
廠務(wù)壓縮空氣要求 | 流量：1~10 L/min 壓力：3~7 kg/cm2 管徑：8×5 mm 材質(zhì)：PU管 露點(diǎn)：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3 |
除了普通的等離子清洗機(jī)外，還有一種寬幅等離子清洗機(jī)，可以同時(shí)清洗多個(gè)攝像頭模組。寬幅等離子清洗機(jī)采用連續(xù)清洗的方式，可以在一次清洗中同時(shí)清洗多個(gè)模組，提高了清洗效率和生產(chǎn)效率。同時(shí)，寬幅等離子清洗機(jī)還具有自動(dòng)化控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)清洗，減少人工干預(yù)，提高清洗質(zhì)量和穩(wěn)定性。
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