光刻投影模組
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 江蘇集萃中科先進光電技術研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光電
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/28 9:58:10
- 訪問次數(shù) 33
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| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學元件 |
光刻投影模組功能：
超低畸變設計
采用光學設計和高質量非球面透鏡，確保成像邊緣和中心區(qū)域的一致性， 畸變率低于 0.1%，滿足高精度光刻需求。
精準控制倍率
支持高精度的倍率調節(jié)功能，倍率誤差控制在±0.01%以內(nèi)，確保圖案轉移的精確性。
均勻照明系統(tǒng)
集成均勻化照明技術，確保曝光區(qū)域光強分布一致，提升光刻質量。
多波長兼容
支持紫外（UV）多種波長光源，適應不同光刻工藝需求。
光刻投影模組技術參數(shù)：
焦深 DOF | ±300um ±300um |
OPD | ＜1/2λ@370-440nm |
場曲 | ＜50μm |
像散 | ＜50μm |
全視場畸變 | ＜0.01% ＜0.02% |
倍率色差 | ＜3μm |
軸向色差 | ＜300μm |
點陣 RMS | 半徑＜3.5μm |
采購中心
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