小型電容薄膜真空計該系列產(chǎn)品是本司經(jīng)多年研究開發(fā)的一款是體積緊湊，相對成本較低的電容薄膜真空計。采用24V電源，輸出0-10V標(biāo)準(zhǔn)電信號，輸出電信號與被測真空壓力成線性關(guān)系，輸出可靠穩(wěn)定。與測量氣體介質(zhì)相接觸的部分采用高鉻鎳合金，具有很強(qiáng)的抗腐蝕能力。采用雙電容結(jié)構(gòu)降低干擾影響，測量準(zhǔn)確度高。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航天航空、半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)藥、化學(xué)工業(yè)、石油冶煉、電子器件等相關(guān)領(lǐng)域。以優(yōu)良的性能、良好的信譽(yù)，贏得了廣泛的市場。

CPCA系列真空規(guī)是公司經(jīng)多年研制并專業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品，其主要用于測量中、低真空壓力。特點是精度高、響應(yīng)快、穩(wěn)定可靠、可長期連續(xù)使用。有優(yōu)良的抗過載能力，且檢測不受被測介質(zhì)種類和成分的影響、耐腐蝕性能良好。產(chǎn)品有標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出，輸出信號可直接參與系統(tǒng)的自動化控制，并可在儀表上設(shè)置壓力控制點。產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)與國際同類產(chǎn)品媲美。

CPDA系列真空規(guī)（精度0.25%）是根據(jù)半導(dǎo)體集成電路行業(yè)的需求在原CPCA系列真空規(guī)基礎(chǔ)上開發(fā)的新產(chǎn)品，與MKS公司在目前市場上銷售的產(chǎn)品為同代產(chǎn)品。