Surface-Theta系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直驅(qū)控制，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。Surface-Theta系列轉(zhuǎn)臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，外觀精致布局合理，具有側(cè)向高度低的優(yōu)點(diǎn)，適用于空間緊湊型應(yīng)用。選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度±2角秒，重復(fù)性小于±1角秒，水平負(fù)載可達(dá)30kg，側(cè)向安裝負(fù)載可達(dá)10kg，機(jī)械性能非常突出。

Surface-Theta系列 機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)采用大直徑圓形軸承設(shè)計(jì)，系統(tǒng)剛性強(qiáng)，重復(fù)性好，重負(fù)載使用條件小也不會(huì)損失性能。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，Surface-Theta系列轉(zhuǎn)臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量小于0.05角秒。

Surface-Theta系列轉(zhuǎn)臺(tái)具備靈活的配置選項(xiàng)，客戶可以選擇模擬量反饋或者數(shù)字量反饋，針對(duì)半導(dǎo)體客戶的應(yīng)用要求，Surface-Theta系列為客戶提供了旋轉(zhuǎn)單元和氣管選項(xiàng)，有效地解決了360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)繞線問(wèn)題。由于Surface-Theta系列轉(zhuǎn)臺(tái)具備側(cè)向高度低、定位精度和重復(fù)性好、帶負(fù)載能力強(qiáng)的特點(diǎn)，它被廣泛使用在半導(dǎo)體檢測(cè)和封裝等場(chǎng)合。

Surface–Theta 轉(zhuǎn)臺(tái)在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)測(cè)試

在位穩(wěn)定性測(cè)試優(yōu)于±0.000014°（±0.05角秒）（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，線性放大器）

0.0000135°（0.05角秒）最小步進(jìn)測(cè)試（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步進(jìn)測(cè)試（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-AS圓光柵反饋；

（2）空載指標(biāo)，速度取決于反饋分辨率、實(shí)際負(fù)載、驅(qū)動(dòng)器。

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)。