











SEM5000X場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡多少錢(qián)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡廠(chǎng)家
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示波器,電子負(fù)載,熱像儀,邏輯分析儀,頻譜分析儀,數(shù)據(jù)采集器,安規(guī)綜合測(cè)試儀,交直流電源,電磁兼容EMC測(cè)試和EMC整改的解決方案,
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類(lèi) | 場(chǎng)發(fā)射 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
加速電壓 | 20V~30 kV | 放大倍率 | 1 ~2,500,000x |
電子槍類(lèi)型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
SEM5000X超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化,綜合像差降低了 30%,從而達(dá)到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性,可在優(yōu)良納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)。
SEM5000X超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場(chǎng)景
高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉(cāng),滿(mǎn)足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 0.6 nm @ 15 kV,SE |
1.0 nm @ 1 kV,SE | ||
加速電壓 | 20 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 2,500,000 x | |
電子槍類(lèi)型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
樣品室 | 攝像頭 | 雙攝像頭(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控) |
樣品臺(tái)行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器(Inlens) |
倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器(ETD) | ||
選配 | 插入式背散射電子探測(cè)器(BSED) (五分割,可選配) | |
插入式掃描透射探測(cè)器(STEM) | ||
低真空二次電子探測(cè)器(LVD) | ||
能譜儀(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
樣品交換倉(cāng)(4寸和8寸可選) | ||
軌跡球&旋鈕板 | ||
雙減速技術(shù)(Duo-Dec) | ||
軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航,軌跡球(選配) | |
圖像記錄 | TIFF、JPG、PNG、BMP等 | |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
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