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SEM5000X超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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深圳市新瑪科技有限公司致力于電子測試測量領域為客戶提供的測試和高效的解決方案和全面的系統(tǒng)服務,提供通用測試產品,示波器、邏輯分析儀、信號源、交流、直流電源、數據采集器、交流、直流電子負載儀和頻譜分析儀、安規(guī)測試、 電能質量分析儀以及數字萬用表、功率分析儀、熱成像儀、絕緣電阻測試儀。包括全套電磁兼容EMC測試和EMC整改的解決方案,專業(yè)提供電磁兼容測試系統(tǒng),電磁干擾EMI抗干擾EMS診斷系統(tǒng),并提供專家級的技術和咨詢服務。為各個工業(yè)領域提供創(chuàng)新服務模式涵蓋測試儀器銷售、 計量校準、維修維護以及面向企業(yè)級客戶端的系統(tǒng)集成服務,產品覆蓋通信、工業(yè)電子制造、新能源、微電子、 航空航天,科研院所大學等行業(yè), 我們嚴格遵循以合格的產品去服務于客戶,幫助客戶選擇適合的解決方案。

隨著中國市場越來越多的進口設備進入中國在中國每年有數量眾多的技術*,價格昂貴的設備因為沒有合理的配備而閑置,對于每一個面對競爭的企業(yè)來說,這種浪費是致命的,我們認為我們必須了解客戶的需求,將行業(yè)內眾多成熟的方案幫助中小型技術企業(yè)客戶實現合理的配置同時提高產品的穩(wěn)定性和可靠性,并降低產品開發(fā)成本和生產成本。

新瑪通過與Agilent、Fluke、Tektronix、Pacific、HIOKI、Yokogawa、Rohde-schwarz等廠商的合作,為客戶提供產品應用解決方案、計量校準、維修維護和科技資產外包管理等綜合服務。
      新瑪通過與業(yè)務伙伴的緊密合作,憑借便捷的進貨渠道和服務網絡,為客戶提供專業(yè)的產品選型、技術支持、現場測試等快捷的本地化服務,成為電子測試領域的綜合服務商。


示波器,電子負載,熱像儀,邏輯分析儀,頻譜分析儀,數據采集器,安規(guī)綜合測試儀,交直流電源,電磁兼容EMC測試和EMC整改的解決方案,

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
儀器種類 場發(fā)射 應用領域 能源,電子/電池,電氣
加速電壓 20V~30 kV 放大倍率 1 ~2,500,000x
電子槍類型 肖特基場發(fā)射電子槍

SEM5000X超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電鏡,電子光學鏡筒設計優(yōu)化,綜合像差降低了 30%,從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性,可在優(yōu)良納米結構和納米材料的研究、芯片半導體的研發(fā)制造等領域發(fā)揮其性能優(yōu)勢。

SEM5000X超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

產品優(yōu)勢

超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術,挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應用需求

產品參數

關鍵參數分辨率0.6 nm @ 15 kV,SE
1.0 nm @ 1 kV,SE
加速電壓20 V ~ 30 kV
放大倍率1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室攝像頭雙攝像頭(光學導航+樣品倉內監(jiān)控)
樣品臺行程

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm

T: -10°~+70°,R: 360°

探測器和擴展標配鏡筒內電子探測器(Inlens)
倉室內電子探測器(ETD)
選配

插入式背散射電子探測器(BSED)

(五分割,可選配)

插入式掃描透射探測器(STEM)
低真空二次電子探測器(LVD)
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
樣品交換倉(4寸和8寸可選)
軌跡球&旋鈕板
雙減速技術(Duo-Dec)
軟件語言中文
操作系統(tǒng)Windows
導航光學導航、手勢快捷導航,軌跡球(選配)
圖像記錄TIFF、JPG、PNG、BMP等
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散




































應用案例

介孔二氧化硅/1 kV(Duo-Dec)/lnlens
陽極氧化鋁板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
腎臟切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫鎳/2 kV/ETD-SE
藍寶石襯底/5 kV/ETD-SE
金顆粒/1 kV/Inlens
光刻膠/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化劑/1 kV/ETD-SE
波導/1 kV/ETD-SE





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