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AT650P 等離子體增強(qiáng)原子層沉積PEALD

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京盈思拓科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) AT650P
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2025/6/9 18:15:45
  • 訪問(wèn)次數(shù) 197
產(chǎn)品標(biāo)簽

等離子體增強(qiáng)原子層沉積

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北京盈思拓科技(Instonetech) 有限公司是材料研究領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)提供商。 Instone是Institute、Instrument、Instant的縮寫(xiě),代表公司秉承專(zhuān)業(yè)、高效的經(jīng)營(yíng)理念,為科研用戶(hù)提供技術(shù)服務(wù)。

公司深耕國(guó)內(nèi)科研市場(chǎng)近十年,以中科院等專(zhuān)業(yè)院所背景的技術(shù)力量為依托, 為國(guó)內(nèi)各大科研機(jī)構(gòu)及材料研究客戶(hù)提供科研儀器設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù)。公司以代理國(guó)內(nèi)外材料化工方向的儀器設(shè)備為核心業(yè)務(wù),產(chǎn)品覆蓋材料制備、表征、光、熱、 電、磁等研究領(lǐng)域。

公司在提供專(zhuān)業(yè)儀器設(shè)備的基礎(chǔ)上,根據(jù)客戶(hù)的不同需求,提供“從0到1”的咨詢(xún)和建設(shè)服務(wù)(實(shí)驗(yàn)室設(shè)備及家具布局、通風(fēng)、潔凈及氣路等),為新能源電池、電子陶 瓷、半導(dǎo)體材料、高分子材料等用戶(hù)提供一站式解決方案。

此外,公司旗下?lián)碛杏蜒芯芗庸て脚_(tái),并擁有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)工程師為實(shí)驗(yàn)設(shè)備提供 系統(tǒng)集成服務(wù),提升科研實(shí)驗(yàn)的自動(dòng)化水平,為用戶(hù)提供增值服務(wù)。



技術(shù)服務(wù)、一般項(xiàng)目:技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流

 AT650P(等離子體增強(qiáng))/  AT650T(熱型)

AT650T可在用戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)為AT650P

技術(shù)參數(shù):

高達(dá)400°C

具有高頻率射頻的空心陰極

金屬密封線(xiàn)降低了大氣污染的風(fēng)險(xiǎn)

前體加熱至185°C(帶選擇性增壓)

4前體和多達(dá)4個(gè)有選項(xiàng)的共反應(yīng)物

可選:手套箱界面或加載鎖定

高達(dá)6英寸或更高的基板

靜態(tài)處理模式下可實(shí)現(xiàn)高曝光

 

選項(xiàng)

定制卡盤(pán)/鍍層

QCM(石英晶體微天平)

為您的瓶子設(shè)計(jì)氣泡器

負(fù)載鎖(或手套箱接口)

反應(yīng)器線(xiàn)(MFC控制)(最多可增加2條)

額外加熱前體管線(xiàn)至185攝氏度,共4條。定制系統(tǒng)-請(qǐng)咨詢(xún)我們

 

客戶(hù)案例:

全球100多家用戶(hù),多家重復(fù)購(gòu)買(mǎi)的用戶(hù)

哈佛大學(xué)

赫爾辛基大學(xué)Professor Mikko Ritala and Matti Putkonen

林集團(tuán) (LAM) 3臺(tái)以上

牛津大學(xué)(2臺(tái)以上, Prof Sebastian Bonilla

國(guó)立材料科學(xué)研究所(日本,多臺(tái))

東京大學(xué)(多臺(tái))

早稻田大學(xué)(多臺(tái))

西北大學(xué)(美國(guó))

劍橋大學(xué)(英國(guó))

萊斯大學(xué)

英屬哥倫比亞大學(xué)(加拿大)

ENS-Paris(法國(guó)、高等師范學(xué)院)

北京量子研究院

北京大學(xué)

布里斯托大學(xué)(英國(guó))

謝菲爾德大學(xué)等等

 

重復(fù)購(gòu)買(mǎi)客戶(hù)的具體運(yùn)用:

1.  早稻田大學(xué) (Waseda University) (日本東京) - 傳感器、表面改性、納米壓印光刻、先進(jìn)通孔制造 (AIST) – 日本茨城縣

2.  早稻田大學(xué) (Waseda University) (日本東京) – 系統(tǒng) #2;類(lèi)似應(yīng)用。日本神奈川縣橫濱國(guó)立大學(xué) (Yokohama National University)

13. 國(guó)立材料科學(xué)研究所 (NIMS) #1 (日本茨城縣) - 表面和薄膜中的聲子;原子尺度低維等離激元學(xué);納米材料中的自旋軌道分裂

14. 國(guó)立材料科學(xué)研究所 (NIMS) #2 (日本茨城縣) - 碳納米管中的自旋相關(guān)輸運(yùn);納米間隙制造和分子輸運(yùn);石墨烯中的帶隙工程;有機(jī)晶體管

21. 私人公司 (Private Company) (美國(guó)俄勒岡州波特蘭) - TEM 樣品制備;HfO2, Al2O3, Ta2O5

22. Precision TEM (美國(guó)加利福尼亞州圣克拉拉) - TEM 樣品制備;HfO2, Al2O3

43. 私人公司 TK (Private Company TK) (日本宮城縣) - TEM 樣品制備

44. 私人公司 (Private Company) (美國(guó)俄勒岡州波特蘭) - TEM 樣品制備;HfO2, Al2O3, Ta2O5

45. 東京大學(xué) (University of Tokyo) (日本) – 先進(jìn) ALD 工藝

93. 東京大學(xué) (University of Tokyo) – 日本東京 – Dr. Onaya

91. 泛林集團(tuán) (LAM Research) – 美國(guó)俄勒岡州圖瓦拉丁 (Tualatin)

97. 泛林集團(tuán) (LAM) 系統(tǒng) #2 – 美國(guó)俄勒岡州圖瓦拉丁

98. 泛林集團(tuán) (LAM) 系統(tǒng) #3 – 美國(guó)俄勒岡州圖瓦拉丁

99. 牛津大學(xué) (University of Oxford) – 英國(guó)牛津 - Prof Sebastian Bonilla

100. 德島大學(xué) (Tokushima University) (日本)

101. 赫爾辛基大學(xué) (University of Helsinki) (芬蘭) Professor Mikko Ritala and Matti Putkonen

102. 應(yīng)用材料公司 (AMAT - Applied Materials) – 美國(guó)

103. 牛津大學(xué) (University of Oxford) (英國(guó)牛津)

 



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