臭氧發(fā)生器

是利用高壓放電、紫外線輻射或電解原理將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧（O?）的設(shè)備，其核心功能是通過強(qiáng)氧化性實(shí)現(xiàn)消毒、滅菌和化學(xué)氧化。以下是其關(guān)鍵技術(shù)特性及應(yīng)用分類：

? ?一、核心工作原理?

1. ?高壓放電式（主流技術(shù)）?

• ?電暈放電?：高壓電場（10–20kV）電離氧氣，分解氧分子（O?）并重組為臭氧（O?）910。

• ?介質(zhì)阻擋?：石英管/陶瓷板抑制電弧，提升放電穩(wěn)定性及臭氧產(chǎn)率79。

• ?效率關(guān)鍵?：高頻電源（>1kHz）較工頻能耗降低20%，體積縮小60%511。

2. ?其他技術(shù)?

• ?紫外線式?：185nm紫外光解離O?，適用于小型空氣凈化器，濃度低且壽命短11。

• ?電解式?：純水電解放氧，臭氧純度，用于芯片制造等精密領(lǐng)域911。

?? ?二、分類與技術(shù)參數(shù)?

?? ?三、核心應(yīng)用領(lǐng)域?

1. ?半導(dǎo)體制造?

• ?濕法清洗?：臭氧水機(jī)去除晶圓表面有機(jī)殘留，純水要求電阻率≥18MΩ·cm13。

• ?干法工藝?：臭氧氣體用于CVD/ALD沉積，替代傳統(tǒng)NF?降低溫室效應(yīng)13。

2. ?環(huán)保與工業(yè)?

• ?水處理?：市政飲水消毒（滅活率99.99%）、工業(yè)廢水COD去除（降解率＞80%）35。

• ?煙氣脫硝?：臭氧氧化NO?為高價態(tài)氮化物，便于后續(xù)吸收313。

3. ?醫(yī)療及民用?

• ?醫(yī)用消毒?：手術(shù)室空氣滅菌（30g/h機(jī)型覆蓋500m3空間）712。

• ?家用凈化?：便攜式紫外線臭氧機(jī)去除甲醛、異味6。

?? ?四、選型關(guān)鍵指標(biāo)?

?注?：半導(dǎo)體領(lǐng)域需選擇自研核心器件（如國林半導(dǎo)體臭氧發(fā)生器），確保備件供應(yīng)與維護(hù)兼容性12；高溫工況（＞60℃）必須配置水冷系統(tǒng)57。