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MFC330 國產(chǎn)替代高精度氣體流量控制器

參考價4600.00
具體成交價以合同協(xié)議為準
規(guī)格
MFC3304600.00元100 只可售

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愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能 制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學科技園 。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測量與控制 。 愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊,具有高水平的產(chǎn)品設計、結(jié) 構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力,是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的企 業(yè) , 更是國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥 )的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛拓利質(zhì)量流量計及控 制器被廣泛應用于半導體、光 伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器 、石化、制氣 、醫(yī)療 、食品 、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時,愛拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質(zhì)量控制體系,并通過了ISO9001質(zhì)量體系認證。通過標準化生產(chǎn),規(guī)范化管理 ,愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應用經(jīng)驗積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計和控制器。支持多種通訊協(xié)議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應速度快、性能穩(wěn)定 。

 

氣體流量計

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 1-5千 介質(zhì)分類 氣體
應用領(lǐng)域 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥/生物制藥

我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便,內(nèi)置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值 外,進一步對氣體流量控制進行溫壓補償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進行通訊;具有多氣體測量,高  精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

MFC330在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括:  電子工藝設備,  如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

主要參數(shù) 國產(chǎn)替代高精度氣體流量控制器

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm

0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm

測量范圍  0.5%F.S.(1:200)

控制范圍  1%-100% FS.(1:100)

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min(T95),30 分鐘最佳

閥門  常閉式







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