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TURBOVAC i磁懸浮分子泵

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  杭州首泉真空設(shè)備有限公司是一家致力于服務(wù)真空領(lǐng)域,集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、安裝調(diào)試、銷售和售后服務(wù)于一體的專業(yè)真空設(shè)備實體型制造廠商,竭誠為廣大用戶提供真空系統(tǒng)相關(guān)的全面技術(shù)解決方案。
 
  首泉真空成立于2015年9月,2018年成為德國依博羅閥門的代理商。公司核心團隊成員來自合肥工業(yè)大學(xué)真空專業(yè),以及在國內(nèi)外有名真空公司的優(yōu)秀人才,尤其在真空系統(tǒng)的設(shè)計、加工、制造方面擁有較高水平。
 
  公司是德國萊寶真空的授權(quán)代理商以及多家全球有名真空設(shè)備制造企業(yè)的合作配套集成廠商,目前主要產(chǎn)品有:磁控濺射鍍膜機、熱蒸發(fā)鍍膜機、電子束蒸發(fā)鍍膜機、有機物蒸發(fā)鍍膜、脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD)、CVD管式爐、(超)高真空系統(tǒng)、多工位高真空排氣臺、高真空分子泵機組、多工位檢漏系統(tǒng)、真空腔體及管道、真空零配件和真空設(shè)備維護等。
 
  公司已經(jīng)成功服務(wù)于諸多高校,工業(yè)、半導(dǎo)體等企業(yè),主要面向物理、材料、化學(xué)、低溫、光學(xué)、平板顯示等相關(guān)領(lǐng)域。首泉真空秉承服務(wù)為先的理念,與廣大客戶保持著良好的合作關(guān)系。

真空泵,真空計,檢漏儀,真空泵油

泵軸位置 邊立式 輸送介質(zhì) 其他
葉輪數(shù)目 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 化工

TURBOVAC i磁懸浮分子泵TURBOVAC i 系列具有混合轉(zhuǎn)子軸承:前級真空側(cè)的軸承是終生潤滑的陶瓷滾珠軸承,高真空側(cè)的軸承為不磨損的磁浮軸承。

所有這些類型的軸承通常都無需任何潤滑油(在泵靜止的條件下,由于沒有任何抽吸作用,潤滑油可能會擴散回真空室)。

由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓下壓縮,因此它們始終需要一個額定值足夠的前級真空泵來運行,而我們正好也提供這種泵。根據(jù)流量和終壓要求,我們提供不同的前級真空泵來滿足您的系統(tǒng)要求。

TURBOVAC i磁懸浮分子泵采用混合軸承系統(tǒng):

高真空側(cè):磁懸浮軸承(無機械接觸,無磨損,免維護)。

前級真空側(cè):陶瓷滾珠軸承(終生潤滑,可現(xiàn)場更換)。

氣體通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片(3000~60000 RPM)被壓縮,實現(xiàn)高真空抽氣。

分子泵設(shè)計理念

萊寶真空針對不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵;TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵(半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承,高真空端配置免維護的永磁軸承)。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上完*避免分子泵對腔體產(chǎn)生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。




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