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SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國公司?;?/span> Science is international”的想法,“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中,我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚(yáng)帆起航!

 

 

 

 

 

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SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本,用于超高真空(UHV)室和樣品清潔應(yīng)用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構(gòu)成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內(nèi)沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側(cè)法蘭為 CF2.75″(DN 40 CF)不銹鋼。

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)有兩種控制氣體流量的方法:手動針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅(qū)動兩個外部 MFC 并自動混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速,則配方可以指定每個 MFC 的氣體流速。



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