日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動點膠機

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公司名稱 成都藤田光學儀器有限公司
品牌 MUSASHI/武藏
型號
產(chǎn)地日本
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2025/6/28 11:40:41
訪問次數(shù) 71

產(chǎn)品標簽

日本武藏 FAD5100S-WH 涂布 EFEM集成武藏代理

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公司介紹 主營產(chǎn)品

【藤田光學】成立于2020年，位于四川成都為國家歷史文化名城、古蜀文明發(fā)祥地，是一家從事國內(nèi)/國際貿(mào)易的公司，主要代理國內(nèi)外的光學設(shè)備、電子計測儀器、量規(guī)儀器、科學儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學用品、FA自動化用品，勞保用品等產(chǎn)品的綜合性技術(shù)服務(wù)商，服務(wù)于各地的企業(yè)、工廠、以及個人的技術(shù)服務(wù)和一站式的采購服務(wù)。
經(jīng)營理念：
誠信、共贏、開拓，始終堅守誠信原則，與合作伙伴共同發(fā)展，不斷**開拓，實現(xiàn)更大的商業(yè)價值。

藤田愿景：
承蒙各界的支持，在此衷心表示感謝。在社會對產(chǎn)品的品質(zhì)，智能，創(chuàng) 新不斷要求的今天，作為提供精密工具，儀器，設(shè)備，技術(shù)的服務(wù)商，我們將努力利用積累的專業(yè)技術(shù)和知識，準確地發(fā)現(xiàn)客戶的需求，不斷的整合資源，為您提供更多的滿意產(chǎn)品。
我們與有工匠精神的人和企業(yè)、攜手共進。公司全體人員心懷執(zhí)念與感恩，為社會的發(fā)展做出貢獻，不斷努力和挑戰(zhàn)，成為社會需要的百年企業(yè)。

展開

日本HOYA豪雅(UV固化燈,玻璃鏡片)，日本MUSASHI武藏(點膠機)，日本KANOMAX加野(粒子計數(shù)風速儀)，日本FLUORO福樂(用于晶圓的搬運)，日本AND艾安得(電子天平)

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產(chǎn)地類別	進口

日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動點膠機

產(chǎn)品概述

FAD5100S-WH是日本MUSASHI武藏專為半導(dǎo)體*封裝研發(fā)的晶圓級全自動點膠設(shè)備，集成EFEM前端模塊實現(xiàn)300mm晶圓全自動化處理，支持WLP/PLP/異種芯片集成等封裝工藝。設(shè)備采用Class 5級潔凈設(shè)計，通過SECS/GEM協(xié)議與AMHS系統(tǒng)聯(lián)動，滿足半導(dǎo)體fab廠24小時連續(xù)生產(chǎn)需求。

核心技術(shù)

高速精準涂布系統(tǒng)

搭載Mu SKY Capture技術(shù)實現(xiàn)無間歇連續(xù)作業(yè)，涂布速度達200點/秒，換線時間≤15分鐘
動態(tài)黏度管理（DVM）自動調(diào)節(jié)0.001-1.2MPa壓力，覆蓋50-500,000cps粘度材料
葉線涂布技術(shù)（MCD）形成理想膠路輪廓，解決≤50μm間距Chiplet互聯(lián)填充難題

智能防缺陷體系

AFC實時監(jiān)控系統(tǒng)動態(tài)修正膠形，將氣泡率控制在0.3%以下
高分辨率視覺定位（±3μm）結(jié)合激光翹曲補償，實現(xiàn)±5μm KOZ區(qū)域涂布精度

EFEM集成方案

雙機械臂交替維護設(shè)計，稼動率≥98%
晶圓映射數(shù)據(jù)實時交互，支持300mm FOUP/FOSB標準載具

應(yīng)用表現(xiàn)

3D IC封裝：10:1深寬比TSV通孔填充，每小時處理1,200芯片
汽車電子：AEC-Q100 Grade 1級可靠性認證，良率>99.97%
成本效益：PHM系統(tǒng)提前92%預(yù)警故障，年維護成本降低30%

技術(shù)參數(shù)

指標參數(shù)晶圓兼容性200/300mm最小點膠量0.5pL潔凈等級Class 5（ISO 1等效）涂布速度200點/秒

日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動點膠機

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日本武藏EFEM集成FAD5100S-WH全自動點膠機

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