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Cluster system 等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)
- 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Cluster system
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/2 21:42:35
- 訪問(wèn)次數(shù) 120
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)是一種適用于低壓環(huán)境下最復(fù)雜涂布工藝的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)多腔室系統(tǒng)，是集成等離子的清洗與聚合系統(tǒng)。該廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)，包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì)：
1、在真空腔體中集成等離子源
2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
3、經(jīng)過(guò)驗(yàn)證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā)，到全面的耗材、備件供應(yīng)以及長(zhǎng)期的技術(shù)支持服務(wù)
等離子Parylene派瑞林鍍膜集成系統(tǒng)Cluster System
| 尺寸 | L:2000mm W:1800mm H:2000mm |
| 重量 | 320kg |
| 腔體容量 | 50L |
| 3個(gè)工藝腔體 | VA L:300 W:300 H:300 |
| 等離子源 | 2.45 GHz, 1200 W 13.56 MHz, 600 W |
| 氣路 | 3*3路氣體通道（內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)） |
| 其他 | 氣閘機(jī)械臂，如用于氣閘的樣品臺(tái) |
| 樣品臺(tái) | 可定制化鋁制樣品臺(tái) |
| 真空連接 | DIN 63 ISO-KF |
| 排氣 | 電磁式排氣閥 |
| 3個(gè)真空泵系統(tǒng) | 抽速40m3/h |
| 腔室門 | 用于維護(hù)檢修 |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí)，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。
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