化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>冷水機(jī)/冷卻循環(huán)水機(jī)> 半導(dǎo)體水冷高精度冷水機(jī)故障解決方案
半導(dǎo)體水冷高精度冷水機(jī)故障解決方案
參考價(jià) | ¥ 91575 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 無(wú)錫新吳區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/4 14:17:48
- 訪問(wèn)次數(shù) 28
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類(lèi) | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,電氣 |
關(guān)于我們
無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司是一家以客戶為本的公司,公司專(zhuān)業(yè)從事半導(dǎo)體控溫裝置Chiller、恒溫空調(diào)及制冷加熱管路的翻新維修服務(wù),為半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、LED、LCD等領(lǐng)域提供設(shè)備維護(hù)解決方案。
支持所有的Chiller/Heat exchanger提供維修翻新服務(wù),包括Neslab、SMC、Bay Voltex、Edwards、Lam、M&W、AMAT、Daikin、Lytron/Affinity、ATS等的產(chǎn)品維護(hù)保養(yǎng)。
我們注重著市場(chǎng)需求,提供靈活可靠的溫度控制解決方案,特的熱交換技術(shù)和高精確控溫技術(shù),以及非標(biāo)定制的產(chǎn)品,滿足客戶需求。
無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司提供以下服務(wù):
Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)
我們提供Chiller的各類(lèi)chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù),以降低設(shè)施的能源成本并提高其能源效率。
改善和保持Chiller的性能
無(wú)錫德偲提供的Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)保證您的設(shè)備獲得適當(dāng)和及時(shí)的保養(yǎng)維護(hù)服務(wù),以確保其順利,有效地運(yùn)行。借助無(wú)錫德偲提供的維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù),您將在發(fā)生故障之前意識(shí)到預(yù)期的問(wèn)題,使您有機(jī)會(huì)根據(jù)時(shí)間表安排chiller維護(hù),并防止任何停機(jī)時(shí)間。
無(wú)錫德偲提供的所有Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)確保您的冷水機(jī)在必要時(shí)會(huì)產(chǎn)生冷水,并具有滿足您設(shè)施的需求的冷卻能力。我們還確保其具有良好的水質(zhì)和適當(dāng)?shù)牧魉?。我們將檢查您的控制系統(tǒng),以確保它們使您的冷水機(jī)保持適當(dāng)?shù)乃剑瑥亩憩F(xiàn)良好。
提高冷水機(jī)的效率,降低您的成本
我們的維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)使您的Chiller保持良好,以確保您的能量和維修成本更小。立即聯(lián)系以制定預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃。
我們的專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)擁有數(shù)十年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),長(zhǎng)期與國(guó)內(nèi)外企業(yè)緊密合作。我們提供全國(guó)范圍內(nèi)的chiller故障的快速支持,并可在我們的工廠進(jìn)行高標(biāo)準(zhǔn)的保養(yǎng)維修。
半導(dǎo)體水冷高精度冷水機(jī)故障解決方案
半導(dǎo)體水冷高精度冷水機(jī)故障解決方案
半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)溫度控制要求較高,雙通道冷水機(jī)Dual Channel Chiller作為關(guān)鍵的溫控設(shè)備之一,在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用廣泛。
一、半導(dǎo)體制造的溫控需求與挑戰(zhàn)
半導(dǎo)體制造涵蓋晶圓制造、封裝測(cè)試等多個(gè)環(huán)節(jié),每個(gè)環(huán)節(jié)對(duì)溫度的要求都較為苛刻。在光刻工藝中,溫度的細(xì)微波動(dòng)都會(huì)影響光刻膠的性能和圖案轉(zhuǎn)移的精度,進(jìn)而影響芯片的良率和性能。而在離子注入過(guò)程中,需要準(zhǔn)確控制晶圓的溫度以確保離子注入的濃度符合要求。此外,半導(dǎo)體設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,如不及時(shí)散發(fā),會(huì)導(dǎo)致設(shè)備性能下降甚至損壞。
半導(dǎo)體制造的溫控挑戰(zhàn)主要體現(xiàn)在溫度范圍廣、控溫精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快等方面。許多工藝需要在較寬溫范圍內(nèi)進(jìn)行,且控溫精度要求高。同時(shí),生產(chǎn)過(guò)程中可能需要快速升降溫,以滿足不同工藝步驟的需求。
二、雙通道冷水機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)
雙通道冷水機(jī)具有雙循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì),能夠單獨(dú)控制兩個(gè)通道的溫度,滿足半導(dǎo)體制造中多工位、多工藝的溫控需求。
1、高精度控溫能力
采用成熟的PID控制算法、前饋PID控制算法以及無(wú)模型自建樹(shù)算法等多種控制算法,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的快速響應(yīng)和高精度控溫。
2、寬溫范圍覆蓋
通過(guò)單機(jī)復(fù)疊制冷技術(shù)等制冷技術(shù)的應(yīng)用,雙通道冷水機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)寬溫度范圍覆蓋。在半導(dǎo)體制造中,可根據(jù)不同工藝需求提供相應(yīng)的溫度控制,在低溫測(cè)試環(huán)節(jié)提供低溫環(huán)境,在高溫老化測(cè)試中提供高溫環(huán)境。
3、換熱與全密閉系統(tǒng)
采用板式換熱器、微通道換熱器等換熱元件,提高了換熱效率。同時(shí),全密閉系統(tǒng)設(shè)計(jì)避免了導(dǎo)熱介質(zhì)與外界空氣接觸,防止水汽凝結(jié)和介質(zhì)氧化,延長(zhǎng)了導(dǎo)熱介質(zhì)的使用壽命,也保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
4、智能監(jiān)控與通信功能
配備PLC可編程控制器和7英寸彩色觸摸屏,可實(shí)時(shí)顯示溫度曲線、導(dǎo)出數(shù)據(jù)等。同時(shí)支持多種通信協(xié)議,實(shí)現(xiàn)了與其他設(shè)備的遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)交互,便于工廠自動(dòng)化管理。
三、雙通道冷水機(jī)在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用場(chǎng)景
1、晶圓制造環(huán)節(jié)
在晶圓生長(zhǎng)過(guò)程中,需要準(zhǔn)確控制晶體生長(zhǎng)爐的溫度,雙通道冷水機(jī)可提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境,確保晶圓的品質(zhì)。在刻蝕工藝中,刻蝕設(shè)備的腔體溫度需要嚴(yán)格控制,以保證刻蝕速率和刻蝕精度的一致性。雙通道冷水機(jī)的雙循環(huán)系統(tǒng)可分別控制腔體和冷卻系統(tǒng)的溫度,提高刻蝕工藝的穩(wěn)定性。
2、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)
在芯片封裝過(guò)程中,倒裝焊、鍵合等工藝對(duì)溫度的要求很高。雙通道冷水機(jī)可同時(shí)為多個(gè)封裝設(shè)備提供不同的溫度控制,提高生產(chǎn)效率。在芯片測(cè)試環(huán)節(jié),需要對(duì)芯片進(jìn)行高低溫沖擊測(cè)試,以評(píng)估芯片在不同溫度環(huán)境下的性能。雙通道冷水機(jī)可快速切換溫度,滿足測(cè)試需求。
雙通道冷水機(jī)Dual Channel Chiller在半導(dǎo)體制造中具有廣泛的應(yīng)用前景,在選型過(guò)程中,應(yīng)根據(jù)具體的工藝需求、設(shè)備發(fā)熱量等因素,選擇合適的型號(hào),以確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的穩(wěn)定性和可靠性,提高芯片的良率和性能。