Wafergard® II F 美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 Entegris
- 型號 Wafergard® II F
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/3 17:34:00
- 訪問次數(shù) 65
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1千-1萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣 |
美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器,這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體,與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性,并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。
PTFE 膜提供高效過濾 低壓降降低了在低蒸氣壓氣體中冷凝的風險 與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性和反應(yīng)性氣體,包括臭氧 應(yīng)用Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用生命科學應(yīng)用
臭氧應(yīng)用(氣體) 氣柜和面板 超純氣體系統(tǒng) 內(nèi)部工藝工具 產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯
由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜 外殼 電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 低于 0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/英尺)3) 大于 0.01 μm
揮發(fā) 物 <10 ppb 水分 去除等級 ≥0.0015 微米 內(nèi)飾表面光潔度 ≤7 μin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10cc/秒 測試 1 × 10-9cc/秒
工作條件 最大入口壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F) 最大正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F) 最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒截留 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV) @ 30 slpm(以具穿透力的顆粒尺寸為參考)
流量等級 請參閱性能數(shù)據(jù)
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