1179A是一款純模擬量控制的氣體流量控制器控制器

MKS 1179A是一款通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，由美國(guó)MKS Instruments公司生產(chǎn)。以下是其詳細(xì)介紹：

• 技術(shù)參數(shù)：全量程包括10SCCM、20SCCM、50SCCM、100SCCM、200SCCM、500SCCM、1000SCCM、2000SCCM、5000SCCM、10000SCCM、20000SCCM?？刂屏砍虨槿砍痰?%至99%，測(cè)量精度為全量程的1%，靈敏度為全量程的0.1%。熱機(jī)時(shí)間小于2分鐘，響應(yīng)速度小于2秒。輸入電壓為±15VDC@100ma，輸出電壓為0-5VDC。

• 接口與材質(zhì)：連接器有模擬（9Pin或15Pin或20Pin Card edge）和數(shù)字（RS485或Device net或Profibus）兩種類型。法蘭接口包括Swagelok 4VCR、Swagelok4 VCO、Swage 1/4”等。材質(zhì)為316不銹鋼。

• 特點(diǎn)與應(yīng)用：具有數(shù)字和模擬兩種模式，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使它能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道?？稍诙喾N應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合，配上合適的壓力控制器，還可以作為壓力控制器使用。