MC-3102S LINTEC林泰克 低壓差環(huán)境流量控制器
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-3102S
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/24 20:12:10
- 訪問次數(shù) 27
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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配備LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)充質(zhì)量流量傳感器,在±1%F.S.精度范圍內(nèi)減少壓力損失。
配備的高性能壓電控制閥,即使在低壓差壓力環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、精確的流量控制。
LINTEC林泰克 低壓差環(huán)境流量控制器 MC-3102S
LINTEC林泰克 低壓差環(huán)境流量控制器 MC-3102S
特征
低壓差 (800Pa)
工作溫度:5~50°C
金屬密封件
無塵生產(chǎn)(顆粒標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測)
環(huán)境溫度輔助傳感器
RS-485 數(shù)字通信接口
可選規(guī)格
微流量 FS
使用案例
低溫環(huán)境下低蒸氣壓氣體的流量控制
MC-3000S系列是LINTEC開發(fā)的具有壓力損失結(jié)構(gòu)的質(zhì)量流量控制器,即使在室溫下,當(dāng)二次側(cè)處于真空狀態(tài)時(shí),也可以控制H2O等液體原料的流量。 建議使用將少量水蒸氣輸送到真空室的ITO濺射方法。 此外,即使在室溫下,即使是低蒸氣壓的固體原料,如XeF2,也可以進(jìn)行流量控制。
減壓罐容器(SDS 容器)的流量控制。
離子注入設(shè)備使用AsH3、PH3等特殊材料氣體,常使用安全輸送源(SDS)容器,以實(shí)現(xiàn)安全穩(wěn)定的輸送。 充注SDS的罐體壓力低于大氣壓,需要與低壓差環(huán)境相對應(yīng)的MFC。 MC-3000S系列產(chǎn)品具有低壓差結(jié)構(gòu),可以滿足這一需求。
規(guī)格表
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 敏 F.S. | 馬克斯 F.S. | 海豹 |
5~50°C | 800帕 | 133kPa | ±1%FS | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | 金 |
*此表僅顯示一般規(guī)格的 MFC。 根據(jù)可選規(guī)格而有所不同。
■簡 介
●MC-3000S系列是利用LINTEC開發(fā)的低壓損設(shè)計(jì), 針對低壓差環(huán)境的質(zhì)量流量控制器
■特 點(diǎn)
●開發(fā)的低壓損構(gòu)造,可在6Torr低壓差的環(huán)境下,控制10SCCM(N2 )的流量
●可運(yùn)用在AsH3和PH3雜質(zhì)摻入制程,亦可控制未加熱的XeF2或H2 O等固體、液體
●采用標(biāo)準(zhǔn)RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性