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無(wú)錫1 噸 / 小時(shí)電子廠超純水設(shè)備

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上海濱潤(rùn)環(huán)??萍加邢薰咀詣?chuàng)建以來(lái),主要從事制藥,生物,保健品,化妝品,工業(yè),化工,醫(yī)院等純水,超純水的成套設(shè)備,能提供從原水開(kāi)始到合格純水,純化水,超純水,注射用水(包括用水點(diǎn))的全套工藝設(shè)計(jì)、設(shè)備制造、安裝、調(diào)試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。












純水設(shè)備,純凈水設(shè)備,超純水設(shè)備,反滲透設(shè)備,超濾設(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
無(wú)錫1 噸 / 小時(shí)電子廠超純水設(shè)備是專為中小型電子制造車間、半導(dǎo)體封裝測(cè)試廠設(shè)計(jì)的高精度制水系統(tǒng),以 “強(qiáng)化預(yù)處理 - 雙級(jí) RO 反滲透 - EDI 深度除鹽 - 終端超純化” 為核心工藝鏈,整合抗污染與低微??刂萍夹g(shù),可穩(wěn)定產(chǎn)出電阻率≥18.2MΩ?cm@25℃、總?cè)芙夤腆w(TDS)≤0.05ppm、微粒(≥0.1μm)≤1 個(gè) /ml 的超純水,滿足電子行業(yè) JEDEC JESD22-A114 等標(biāo)準(zhǔn)對(duì)芯片清洗、PCB 顯影等環(huán)節(jié)的嚴(yán)苛水質(zhì)要求。無(wú)錫1 噸 / 小時(shí)電子廠超純水設(shè)備設(shè)備以 1 噸 / 小時(shí)的持續(xù)產(chǎn)水能力適配電子廠間歇式生產(chǎn)特性,通過(guò)低污染設(shè)計(jì)與智能化微粒監(jiān)控,為電子元件的精密制造提供高穩(wěn)定性水質(zhì)保障。
一、核心工藝架構(gòu)與電子行業(yè)專屬設(shè)計(jì)
在工業(yè)超純水設(shè)備基礎(chǔ)上,針對(duì)電子廠水源特點(diǎn)與水質(zhì)需求進(jìn)行專項(xiàng)優(yōu)化:
(一)預(yù)處理系統(tǒng):低污染與微粒控制強(qiáng)化
  1. 多介質(zhì)過(guò)濾單元:φ500mm 304 不銹鋼濾罐(內(nèi)壁電解拋光 Ra≤1.6μm),內(nèi)裝 600mm 厚級(jí)配濾料(下層 3-5mm 石英砂 + 上層 0.8-1.2mm 無(wú)煙煤),運(yùn)行流速 12m/h,通過(guò)梯度過(guò)濾去除懸浮物至濁度≤0.1NTU,SDI(污染指數(shù))控制在≤3,為后續(xù) RO 系統(tǒng)提供更嚴(yán)格的前置保護(hù)。自動(dòng)反沖洗采用 “水反沖 + 氣擦洗 + 水正沖” 三段式程序(反洗強(qiáng)度 12L/(m2?s)),確保濾料再生效率≥98%,減少反洗殘留污染。

  1. 活性炭吸附單元:φ400mm 304 不銹鋼濾罐,填充碘值≥1000mg/g 的椰殼活性炭(粒徑 1.0-2.0mm),運(yùn)行流速 10m/h,特異性吸附余氯(≤0.01mg/L)、TOC(去除率≥80%)及重金屬(如 Cu2?、Ni2?≤0.01ppm),避免氯對(duì) RO 膜的氧化及重金屬對(duì)電子元件的電化學(xué)腐蝕。采用單罐 + 備用濾芯組合設(shè)計(jì),活性炭更換周期 4-6 個(gè)月,通過(guò)在線 TOC 監(jiān)測(cè)儀(檢測(cè)限 1ppb)聯(lián)動(dòng)提示更換,確保有機(jī)物去除效果穩(wěn)定。

  1. 軟化處理單元:φ400mm 304 不銹鋼離子交換柱,裝填核級(jí) 001×7MB 陽(yáng)離子交換樹(shù)脂(交換量≥1.3eq/L),將原水硬度(以 CaCO?計(jì))降至≤0.1ppm,防止 RO 膜結(jié)垢與后續(xù)管道產(chǎn)生鈣鎂沉積。采用流量 - 硬度 - 時(shí)間三參數(shù)控制再生(產(chǎn)水達(dá) 30 噸或出水硬度>0.05ppm 時(shí)啟動(dòng)),再生液為 10% 電子級(jí) NaCl 溶液,避免工業(yè)級(jí)鹽中的雜質(zhì)污染樹(shù)脂。

  1. 保安過(guò)濾:30 英寸精密過(guò)濾器(304 不銹鋼外殼),內(nèi)置 0.45μm 聚醚砜(PES)折疊濾芯(3 支并聯(lián)),對(duì)≥0.45μm 顆粒截留率≥99.99%,作為 RO 膜的最后一道防護(hù),濾芯每?jī)芍芨鼡Q一次,通過(guò)在線微粒計(jì)數(shù)器(檢測(cè)范圍 0.1-5μm)實(shí)時(shí)監(jiān)控過(guò)濾效果,確保進(jìn)入 RO 系統(tǒng)的微粒數(shù)≤100 個(gè) /ml。

(二)雙級(jí) RO 反滲透系統(tǒng):深度脫鹽與低污染運(yùn)行
  1. 一級(jí) RO 單元:采用 3 支抗污染型 RO 膜元件(3 支串聯(lián),型號(hào) SW30HR-4040),單支膜面積 400ft2,設(shè)計(jì)脫鹽率≥99.5%。運(yùn)行壓力 1.6±0.1MPa,水溫控制在 25±1℃(配備恒溫?fù)Q熱器),產(chǎn)水量 1.8m3/h,回收率 60%。濃水(約 1.2m3/h)經(jīng)壓力回收裝置(效率≥90%)回收能量后排放,系統(tǒng)能耗降低 15%。

  1. 二級(jí) RO 單元:配置 2 支電子級(jí)低壓高脫鹽膜(2 支串聯(lián)),脫鹽率≥99.8%,總脫鹽率達(dá) 99.995%,產(chǎn)水量 1.2 噸 / 小時(shí),回收率 80%。二級(jí) RO 產(chǎn)水電導(dǎo)率≤0.5μS/cm,通過(guò)在線電導(dǎo)率儀(精度 ±0.05μS/cm)與溫度補(bǔ)償系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性,超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)循環(huán)凈化程序(循環(huán)路徑避開(kāi)產(chǎn)水水箱,避免污染)。

  1. 智能清洗系統(tǒng):集成 300L PP 清洗箱(內(nèi)壁光滑)與衛(wèi)生級(jí)清洗泵(316L 葉輪),支持酸洗(0.5% 檸檬酸 + 0.1% 還原劑,pH3-4)與堿洗(0.1% NaOH+0.05% 表面活性劑,pH10-11),清洗程序針對(duì)電子廠水源中常見(jiàn)的有機(jī)物污染優(yōu)化,清洗周期延長(zhǎng)至 4-6 個(gè)月,清洗后需檢測(cè) TOC≤5ppb 方可恢復(fù)運(yùn)行。

(三)EDI 深度除鹽單元
采用 1 臺(tái) IONPURE™ VNX-25 模塊(電子級(jí)),產(chǎn)水 1.1 噸 / 小時(shí),在直流電場(chǎng)(0-500V 可調(diào))作用下,通過(guò)樹(shù)脂與選擇性膜的協(xié)同作用,將二級(jí) RO 產(chǎn)水進(jìn)一步純化至電阻率≥15MΩ?cm@25℃,無(wú)需化學(xué)再生,避免酸堿污染電子元件。EDI 模塊進(jìn)水端加裝 0.2μm 過(guò)濾器,防止微粒污染膜組件;濃水(約 0.2m3/h)回流至一級(jí) RO 進(jìn)水端,系統(tǒng)整體水利用率提升至 75%。
(四)終端超純化與微粒控制
  1. 拋光混床:φ200mm 316L 不銹鋼柱,裝填 1:1 比例的電子級(jí)核子級(jí)樹(shù)脂(陽(yáng)樹(shù)脂 IRN160,陰樹(shù)脂 IRN178),進(jìn)一步去除殘余離子,使產(chǎn)水電阻率≥18.2MΩ?cm@25℃,硅含量≤0.01ppm,滿足芯片級(jí)清洗需求?;齑膊捎皿w內(nèi)再生方式,再生周期根據(jù)電阻率變化自動(dòng)觸發(fā)(≤15MΩ?cm 時(shí)),再生后需沖洗至電阻率穩(wěn)定≥18.2MΩ?cm 方可投入使用。

  1. 終端過(guò)濾系統(tǒng)

  • 0.1μm 折疊式聚四氟乙烯(PTFE)過(guò)濾器(316L 外殼),對(duì)≥0.1μm 顆粒截留率≥99.999%,確保產(chǎn)水微粒(≥0.1μm)≤1 個(gè) /ml。

  • 超濾膜組件(可選配,截留分子量 1000Da),去除水中的膠體與大分子有機(jī)物,TOC 進(jìn)一步降至≤10ppb,適合光刻膠配制等高精度場(chǎng)景。

  1. 紫外線氧化:配備雙波長(zhǎng)紫外燈(185nm+254nm,功率 60W),劑量 30mJ/cm2,既殺滅微生物(殺菌率≥99.99%),又氧化分解殘余有機(jī)物(TOC 去除率≥30%),避免生物膜形成與有機(jī)物沉積污染電子元件。

二、性能參數(shù)與電子廠運(yùn)行保障
設(shè)備通過(guò)精準(zhǔn)參數(shù)控制與低污染設(shè)計(jì),滿足電子廠對(duì)水質(zhì)穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求:
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性能指標(biāo)
電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備控制精度
監(jiān)測(cè)頻率
產(chǎn)水能力
1 噸 / 小時(shí)(持續(xù)),峰值 1.1 噸 / 小時(shí)(≤4 小時(shí))
±2%
實(shí)時(shí)
電阻率
≥18.2MΩ·cm@25℃
±0.1MΩ·cm
每 5 秒
TDS
≤0.05ppm
±0.01ppm
實(shí)時(shí)
硅含量
≤0.01ppm
±0.005ppm
每日
微粒(≥0.1μm)
≤1 個(gè) /ml
-
每小時(shí)
總有機(jī)碳(TOC)
≤20ppb
±2ppb
每 30 分鐘
金屬離子(單項(xiàng))
≤0.001ppm
±0.0005ppm
每周
運(yùn)行保障體系針對(duì)電子廠潔凈環(huán)境設(shè)計(jì):
  • 材質(zhì)低污染性:與水接觸部件 100% 采用 316L 不銹鋼(電解拋光 Ra≤0.8μm)或 PTFE、PP 等低溶出材料,所有材料通過(guò) SGS 溶出物測(cè)試(金屬離子≤0.001ppm)。

  • 自動(dòng)化微粒監(jiān)控:采用激光微粒計(jì)數(shù)器(檢測(cè)范圍 0.1-10μm),每小時(shí)自動(dòng)記錄微粒數(shù),超標(biāo)時(shí)立即啟動(dòng)終端過(guò)濾器更換提示,并暫停向關(guān)鍵用水點(diǎn)供水。

  • 防交叉污染設(shè)計(jì):產(chǎn)水管道采用 316L 不銹鋼(內(nèi)壁電解拋光),焊接點(diǎn)經(jīng)內(nèi)窺鏡檢測(cè)(Ra≤0.8μm),盲管長(zhǎng)度≤1D(D 為管徑),水流速維持 1.0-1.5m/s(湍流狀態(tài)),避免微生物滋生與微粒沉積。

三、電子廠場(chǎng)景專屬適配設(shè)計(jì)
設(shè)備針對(duì)電子廠生產(chǎn)環(huán)境與用水特性,在設(shè)計(jì)上實(shí)現(xiàn)多重優(yōu)化:
  1. 潔凈室兼容設(shè)計(jì)

  • 設(shè)備外表面采用 304 不銹鋼(Ra≤1.6μm),圓角過(guò)渡(半徑≥10mm),無(wú)衛(wèi)生死角,可直接用異丙醇擦拭消毒,符合 ISO 8 級(jí)潔凈室要求。

  • 運(yùn)行噪音≤60dB (A)(距離設(shè)備 1 米處),配備靜音型水泵與隔音罩,避免干擾電子廠潔凈室的聲學(xué)環(huán)境。

  1. 靈活供水模式

  • 終端配備變頻恒壓供水系統(tǒng)(壓力 0.3-0.5MPa 可調(diào)),支持 3-5 個(gè)用水點(diǎn)同時(shí)供水(如清洗槽、顯影機(jī)、鍍膜機(jī)),各用水點(diǎn)設(shè)獨(dú)立閥門與在線電阻率監(jiān)測(cè)儀,確保局部用水波動(dòng)不影響整體水質(zhì)。

  • 配備 500L 無(wú)菌儲(chǔ)水箱(316L 不銹鋼,內(nèi)壁電解拋光),水箱內(nèi)安裝紫外線殺菌燈(254nm,每小時(shí)運(yùn)行 15 分鐘)與攪拌裝置,防止水質(zhì)靜置劣化,滿足電子廠間歇式生產(chǎn)的用水需求。

  1. 易維護(hù)與快速恢復(fù)

  • 關(guān)鍵部件(如 RO 膜、EDI 模塊)采用快裝式連接,更換時(shí)間≤30 分鐘,減少設(shè)備停機(jī)對(duì)生產(chǎn)的影響。

  • 系統(tǒng)預(yù)設(shè) “快速啟動(dòng)” 模式,停機(jī) 4 小時(shí)內(nèi)重啟時(shí),30 分鐘即可產(chǎn)出合格超純水,較常規(guī)啟動(dòng)時(shí)間縮短 50%。

  1. 數(shù)據(jù)追溯與合規(guī)性

  • 采用西門子 S7-1200 PLC 控制系統(tǒng),10 英寸觸摸屏實(shí)時(shí)顯示水質(zhì)參數(shù)、設(shè)備狀態(tài),支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲(chǔ)≥1 年(符合電子行業(yè)追溯要求),可通過(guò) U 盤導(dǎo)出或聯(lián)網(wǎng)上傳至工廠 MES 系統(tǒng)。

  • 自動(dòng)生成每日水質(zhì)報(bào)告(含電阻率、TOC、微粒數(shù)趨勢(shì)圖),滿足 ISO 9001 與 IATF 16949 等體系對(duì)過(guò)程控制的要求。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景與核心價(jià)值
1 噸電子廠超純水設(shè)備憑借高精度水質(zhì)與穩(wěn)定運(yùn)行,適配電子制造關(guān)鍵環(huán)節(jié):
  • PCB 精細(xì)制造:用于線路板內(nèi)層蝕刻、阻焊膜顯影,低離子特性避免線路短路,某 PCB 廠使用后,細(xì)線(≤50μm)合格率提升 12%。

  • 半導(dǎo)體封裝測(cè)試:為芯片引線鍵合、晶圓減薄等環(huán)節(jié)提供清洗用水,低微粒特性減少芯片表面劃傷,某封裝廠使用后,測(cè)試良率提升 8%。

  • 電子元件清洗:用于連接器、傳感器等精密元件的超聲波清洗,高純度水質(zhì)確保元件接觸電阻穩(wěn)定,某電子元件廠使用后,產(chǎn)品可靠性測(cè)試通過(guò)率提升 15%。

  • 光刻膠配制:為光刻膠稀釋提供用水,低 TOC(≤10ppb)特性避免有機(jī)物干擾光刻圖案形成,某光刻材料廠使用后,圖案精度偏差控制在 ±0.1μm 以內(nèi)。

核心價(jià)值體現(xiàn)在:
  • 水質(zhì)精度高:多重純化工藝確保超純水的低離子、低微粒、低有機(jī)物特性,滿足電子元件對(duì)水質(zhì)的要求。

  • 運(yùn)行穩(wěn)定:針對(duì)電子廠水源波動(dòng)與間歇生產(chǎn)特點(diǎn),設(shè)備水質(zhì)波動(dòng)≤5%,減少因水質(zhì)問(wèn)題導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢。

  • 適配性強(qiáng):緊湊設(shè)計(jì)(占地面積約 3m2)與潔凈室兼容特性,可直接安裝于電子廠車間內(nèi),縮短供水管路,降低二次污染風(fēng)險(xiǎn)。

  • 成本可控:?jiǎn)螄嵥\(yùn)行成本(含耗材、電費(fèi))約 8 元,較進(jìn)口設(shè)備降低 40%,適合中小型電子廠的成本預(yù)算。

1 噸電子廠超純水設(shè)備通過(guò) “高精度除鹽 + 低微??刂?+ 電子行業(yè)專屬設(shè)計(jì)” 的技術(shù)組合,在滿足 1 噸 / 小時(shí)產(chǎn)水需求的同時(shí),確保水質(zhì)持續(xù)符合電子制造的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn),為中小型電子廠的精密制造環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定可靠的用水保障,是電子元件高質(zhì)量生產(chǎn)的關(guān)鍵配套設(shè)備


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