儀器簡介：

    AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀是根據(jù)我公司的控制技術(shù)并按照高校廣大師生需求設(shè)計的產(chǎn)品，此AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀主要特點是控溫?zé)o誤、7寸顯示屏顯示、觸摸控制、操作簡單方便，可以存儲數(shù)據(jù)。AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀具有強大的數(shù)字處理功能，實時在線顯示和記錄反應(yīng)數(shù)據(jù)和曲線圖像，程序控制反應(yīng)條件，可將實驗分為多個工作階段，可隨時在線修改不適宜反應(yīng)條件參數(shù)，具有保存和查詢實驗記錄的功能。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀作用原理是在化學(xué)氣相沉積（CVD）基礎(chǔ)上利用微波輻射，產(chǎn)生等離子體。在微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）的技術(shù)下，石墨烯通常以薄膜形式沉積在襯底表面。其中高溫的襯底相當(dāng)于催化劑，能提高分解率。 

應(yīng)用領(lǐng)域：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀適用于制備石墨烯材料、SiOx、TiN、TiCN、金剛石涂層等。在金屬、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉積有機或無機薄膜來保護其他表面不被腐蝕或改變其表面硬度、增強耐磨性能等。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應(yīng)儀能催化完成微波等離子體相關(guān)應(yīng)用，包括但不限于以下方面：

1、半導(dǎo)體加工：在半導(dǎo)體的蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片等生產(chǎn)工藝中使用微波等離子體技術(shù)。

2、表面處理：應(yīng)用于金屬、合金、非金屬的表面處理，如金屬表面的清洗和強化。

3、有害氣體排放控制：通過微波等離子體技術(shù)減少有害氣體的排放。

4、等離子體光譜分析：可以用于檢測多種元素，并用于分解有毒化合物。

5、食品加工：在食品干燥、殺菌、熟成、烘焙食品、脫腥、彭化和冷藏等方面也有應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)：

1、微波頻率：2450MHz；

*2、功率:0-2000W，功率自由設(shè)置，微波功率隨溫度自動變頻控制，非脈沖連續(xù)加熱。

*3、功率上限隨意設(shè)置，并且具有設(shè)置功率下限功能，保證一直有功率輸出。

*4、控溫方式3種，分別是以設(shè)置的上限功率加熱到設(shè)定溫度然后保溫模式、初始溫度經(jīng)過設(shè)置的時間到達(dá)設(shè)定溫度從而達(dá)到緩慢升溫效果的速率升溫模式、設(shè)置每分鐘升溫溫度度數(shù)的升溫斜率模式。

*5、測溫和控溫范圍:0～1200℃；具有速率升溫功能。

6、測溫精度:≤±0.2℃ 控溫精度:≤±1℃；

7、30升316L奧氏體不銹鋼腔體，表面耐腐蝕、耐高溫性強；

8、高精度非接觸式紅外溫度傳感器，實時監(jiān)測反應(yīng)溫度，準(zhǔn)確控制反應(yīng)進程；

*9、具有磁控管保護器，可連續(xù)不間斷持續(xù)工作。

*10、7英寸高亮度TFT液晶顯示觸摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配備USB接口；實時顯示反應(yīng)溫度和功率數(shù)據(jù)，并顯示曲線，可以保存和查詢實驗記錄；

*11、采用無誤AI人工智慧邏輯算法 ，實現(xiàn)復(fù)雜長滯后對象無誤控制，保證控溫?zé)o誤，杜絕出現(xiàn)超溫、低溫等現(xiàn)象；

*12、反應(yīng)腔體為石英腔體，反應(yīng)區(qū)尺寸：Φ200*300 mm ；

13、配備氣氛接口5路（可根據(jù)客戶需求定制）；

14、可以進行氣氛、真空以及微正壓環(huán)境下反應(yīng)實驗；

15、微波泄漏符合國家標(biāo)準(zhǔn)。

*表示我公司優(yōu)勢技術(shù)。