ART95XY系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式運動平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。采用XY一體設(shè)計，具有低側(cè)面高度、阿貝誤差小的特點，XY行程可以根據(jù)客戶需求定制，可作為二維運動平臺單獨使用，也可以與ART95LZ系列升降臺或者RSML系列轉(zhuǎn)臺搭配使用，組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用。

ART95XY系列 直線電機機械臺-XY平臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強的驅(qū)動能力，空載速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ART95XY系列平臺的在位穩(wěn)定性可達3nm和最小步進量可以小于5nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及光學(xué)領(lǐng)域的光路對準等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

精巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證了ART95XY系列出色的精度和動態(tài)性能，特別是在速度穩(wěn)定性要求苛刻的應(yīng)用中，其優(yōu)異性能得到了很好的體現(xiàn)，例如在掃描檢測應(yīng)用中，要求直線軸勻速20mm/s， ART95XY系列平臺勻速段動態(tài)跟隨誤差小于±100nm，有很好的速度穩(wěn)定性，能夠出色地完成項目任務(wù)。

ART95XY系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）

備注：

（1）經(jīng)過定制2D校準后，正交性可達到 5 arc sec；

（2）適配-ASH反饋，線性放大器；

（3）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（4）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（5）其他行程可定制。