CY-RTP1000-Φ200-300-V-T 鹵素燈RTP立式快速退火爐
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-RTP1000-Φ200-300-V-T
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/30 16:30:07
- 訪問次數(shù) 50
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鹵素燈RTP立式快速退火爐是一款8寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇。
鹵素燈RTP立式快速退火爐技術參數(shù):
產(chǎn)品名稱 鹵素燈RTP立式快速退火爐 產(chǎn)品型號 CY-RTP1000-Φ200-300-V-T 基片尺寸 8英寸 基片基座 石英針(可選配SiC涂層石墨基座) 溫度范圍 150-1250℃ 加熱速率 10-150℃/S 溫度均勻性 ≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer) ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor) 溫度控制精度 ≤ ±3℃ 溫度重復性 ≤ ±3℃ 真空度 5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr 氣路供應 標準1路N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路) 退火持續(xù)時間 ≥35min@1250℃ 溫度控制 快速數(shù)字PID控制 尺寸 900mm*650mm*1600mm