PM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是亞微米級定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直線電機(jī)直驅(qū)控制，采用兩軸一體式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和重復(fù)定位精度，雙向重復(fù)精度小于±0.3μm. PM系列平臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，動(dòng)態(tài)性能和幾何均非常出色，空載截止頻率可達(dá)120Hz以上，全行程平面度和直線度小于±2μm，是一款兼顧重負(fù)載和高精度的XY平臺(tái)。

PM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY平臺(tái)結(jié)構(gòu)精致，有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，上下軸均采用大推力雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)，上下軸空載速度均可達(dá)到2000mm/s，空載加速度可達(dá)2g，在高速運(yùn)動(dòng)過程中仍然可以保證很小的動(dòng)態(tài)跟隨誤差。例如，PM系列平臺(tái)加工加工圖形如下，要求在1.2秒內(nèi)完成整段軌跡，利用scope采集動(dòng)態(tài)跟隨誤差小于12μm。PM系列平臺(tái)集高精度，重負(fù)載，低側(cè)向高度等優(yōu)點(diǎn)于一身，主要應(yīng)用在高速激光加工、測量檢測、表面粗糙度檢測等需要亞微米級定位精度的工業(yè)領(lǐng)域和科研項(xiàng)目。

PM系列平臺(tái)最小步進(jìn)和動(dòng)態(tài)性能測試

最小步進(jìn)20 nm（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器）

此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形，其中4個(gè)拐角半徑大約4.5mm

1.2秒完成加工，動(dòng)態(tài)跟隨誤差小于12μm

備注：

（1）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，以及線性放大器；

（3）默認(rèn)測試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）其他行程可定制。