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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>無損檢測>建筑材料無損檢測儀器/設(shè)備>CY-PECVD60R-1200-Q PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備

CY-PECVD60R-1200-Q PECVD-R?旋轉(zhuǎn)等離子加強(qiáng)CVD設(shè)備

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*好評。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。





磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂儀,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),

旋轉(zhuǎn)PECVD 

本產(chǎn)品為等離子增強(qiáng)回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)PECVD),爐管采用變徑設(shè)計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合,通過機(jī)械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設(shè)備另配有等離子發(fā)生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產(chǎn)生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應(yīng)物活化能,降低反應(yīng)溫度,提高反應(yīng)效率。設(shè)備配有三路質(zhì)量流量計及混氣裝置,可用于向路管內(nèi)通入多種氣體,同時設(shè)備配有高性能機(jī)械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現(xiàn)多種CVD工藝。旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。

技術(shù)參數(shù)

雙溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號

CY-PECVD60R-1200-Q

設(shè)備功率

3KW

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

爐膛長度

440mm

加熱區(qū)長

200mm+200mm

工作溫度

0~1150℃

極限溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫模式

30段程序控溫,PID參數(shù)自整定

顯示模式

高清全彩LCD觸控屏

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

供電電源

AC:220V 50/60Hz  

旋轉(zhuǎn)速度

0~13rpm

傾斜角度

0~35°

3路質(zhì)量流量計

產(chǎn)品型號

CY-3Z

氣路數(shù)量

3路

流量計類型

質(zhì)量流量計

測量范圍

A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

測量精度

±1.5%

工作壓差

0.1~0.5MPa

管路接口

1/4英寸卡套接頭

供電

AC220V 50/60Hz

真空系統(tǒng)

真空泵

雙極旋片泵

抽速

1.1L/s

抽氣接口

KF16

泵極限真空度

10E-1Pa

供電

AC220V 50/60Hz

射頻電源

信號頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0~500W

*大反射功率

100W

射頻輸出接口

50Ω,N-Type,female

功率穩(wěn)定度

≤5W




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