沉積腔體

不銹鋼水冷夾層

根據(jù)電極尺寸設(shè)計(jì)合適的腔體尺寸，保證腔壁與電極之間無(wú)放電情況產(chǎn)生

開(kāi)腔方式

升降開(kāi)腔或前開(kāi)門(mén)，方便放樣及清理

觀察窗

設(shè)置多個(gè)觀察窗保證能夠觀察到陰陽(yáng)極及沉積臺(tái)

真空系統(tǒng)

真空泵

通過(guò)機(jī)械泵抽真空，無(wú)需配置分子泵

極限真空

0.1~1Pa

抽氣時(shí)間

5~15min

抽氣孔設(shè)置

保證抽氣均勻性

氣壓調(diào)節(jié)范圍

0.1Pa~30KPa

放氣閥

可以恢復(fù)至大氣開(kāi)腔

真空規(guī)

高精度真空規(guī)準(zhǔn)確測(cè)量腔體氣壓值

配氣系統(tǒng)

氣源配置

氫氣、甲烷 、氮?dú)?、氬氣、氧?/span>5路氣源，額外預(yù)留一路備用

氣體流量控制

體流量通過(guò)MFC進(jìn)行控制，根據(jù)腔體大小選取合適量程的流量計(jì)，不同流量大小會(huì)影響升壓時(shí)間，一般情況下流量比氫氣:甲烷:氮?dú)?/span>:氬氣:氧氣為40:1:1:40:1

進(jìn)氣孔設(shè)置

合理的進(jìn)氣孔設(shè)置，保證進(jìn)氣均勻性

水冷系統(tǒng)

水冷機(jī)功率

水冷機(jī)制冷功率、揚(yáng)程應(yīng)與設(shè)備發(fā)熱量及冷卻水流量匹配，且溫度可調(diào)，一般設(shè)置在20℃左右

閥門(mén)

沉積腔體、陰極、陽(yáng)極都需要進(jìn)行冷卻，需要設(shè)置分水器，并在分水器上各分路進(jìn)出水口設(shè)置手動(dòng)閥門(mén)

工作溫度

陽(yáng)極工作溫度為600-1100℃，陰極工作溫度為700-1100℃

電源

工作電壓

600~1200V，輸出電壓可調(diào)

工作電流

6~15A

控制系統(tǒng)

1)    氣體流量控制；

2)    電極升降控制，陰陽(yáng)極間距實(shí)時(shí)顯示，控制精度1mm；

3)    陰陽(yáng)極及襯底溫度監(jiān)測(cè)與顯示；

4)    部分功能可以手動(dòng)調(diào)節(jié)，如氣壓；

5)    故障報(bào)警，防止誤操作；

電極

1)   陽(yáng)極直徑60mm，材質(zhì)為銅

2)   陰極直徑80~100mm，材質(zhì)為鉬，長(zhǎng)時(shí)間使用后，陰極表面易沉積碳從而導(dǎo)致放電不穩(wěn)定，因此需要設(shè)計(jì)成可更換結(jié)構(gòu)；

3)   陰陽(yáng)極間距可調(diào)，范圍10~60mm，距離實(shí)時(shí)顯示，調(diào)節(jié)精度1mm;

4)   陰陽(yáng)極邊緣可以倒小圓角，防止邊緣放電；

5)   陽(yáng)極可以加負(fù)偏壓，偏壓范圍0~400V；

6)   電極邊緣做絕緣處理，防止邊緣放電；