CY-MSH500- II-DCRF-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-MSH500- II-DCRF-SS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/5 15:55:05
- 訪問次數(shù) 53
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
雙靶磁控濺射鍍膜儀CY-600-2HD為我公司研發(fā)的配有兩個靶位的小型實驗室用鍍膜儀,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。與同類設(shè)備相比,這款雙靶磁控濺射鍍膜儀不僅應(yīng)用廣泛,切體積小便于操作,是一款實驗室制備薄膜的理想設(shè)備。
產(chǎn)品特點
1:此款鍍膜儀配置有兩個靶槍:一個靶槍配套的是射頻電源,用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜;一個靶槍配套的是直流電源,用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜
2:該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜,應(yīng)用非常廣泛。
3:該鍍膜儀體積較小,且配備有觸摸屏控制面板,操作方便。
產(chǎn)品參數(shù):
項目 | 明細 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH500- II-DCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環(huán)水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ500mm,高度560mm |
腔體材質(zhì) | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統(tǒng) | 配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W,射頻電源500W | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) | |
設(shè)備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設(shè)備重量 | 350kg |
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