CY-MSZ300-I-DC-Q 桌面型偏置靶單靶磁控鍍膜儀
參考價 | ¥ 58900 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-MSZ300-I-DC-Q
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/5 14:52:40
- 訪問次數(shù) 48
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本設備為桌面型偏置靶單靶磁控鍍膜儀,磁控靶偏置于腔體一側,濺射范圍可覆蓋樣品臺一半,通過樣品臺旋轉可以實現(xiàn)更大樣品的均勻鍍膜。理論*大支持樣品直徑為180mm。設備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。
磁控鍍膜儀典型應用:
• 科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。
• 電子行業(yè):半導體、傳感器、導電薄膜制備。
• 教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學領域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應用價值:
桌面型偏置靶單靶磁控鍍膜儀技術參數(shù):
CY-MSZ300G-I-DC-Q 桌面型大腔體偏置靶單靶磁控鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | φ150mm |
轉速 | 轉速0-20rpm可調 | |
磁控濺射靶 | 數(shù)量 | 2” x1 偏置于腔體一側 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 200mm |
觀察窗口 | 全向可視 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
下法蘭 | 裝有旋轉式樣品臺及進出氣口 | |
真空系統(tǒng) | 機械泵 | 雙級旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
分子泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | KF40 | |
真空測量 | 電阻規(guī)+電離規(guī)復合真空計 | |
排氣接口 | KF40 | |
極限真空 | 1.0E-3Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 前級泵 1.1L/s 分子泵:60L/S | |
電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源 x1 |
*大輸出功率 | 直流電源300W | |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 500mm X 320mm X6200mm | |
整機功率 | 2kW |
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