樣品臺  

外形尺寸  

Φ360mm  

可調(diào)轉(zhuǎn)速  

1-20rpm可調(diào)  

磁控靶槍  

靶材平面  

圓形平面靶  

濺射真空  

0.1Pa～3Pa  

靶材直徑  

100～101.6mm  

靶材厚度  

3mm  

絕緣電壓  

>2000V  

電纜規(guī)格  

SL-16  

靶頭溫度  

≦65℃  

真空腔體  

內(nèi)壁處理  

電解拋光  

腔體尺寸  

Φ500mm × 500mm  

腔體材料  

304不銹鋼  

觀察窗口  

石英窗口，直徑φ100mm  

開啟方式  

側(cè)面開啟  

氣體控制  

流量控制  

質(zhì)量流量計，量程0～100SCCM  

氣體種類  

可選氬氣、氮氣、氧氣等多種氣體  

調(diào)節(jié)閥類型  

電磁調(diào)節(jié)閥  

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)  

常閉  

測量線性度  

±1.5%F.S  

測量重復(fù)精度  

±0.2%F.S  

測量響應(yīng)時間  

≤8秒（T95）  

工作壓差范圍  

0.3MPa  

閥體耐壓  

3MPa  

工作環(huán)境溫度  

（5～45）℃  

閥體材料  

不銹鋼316L  

閥體漏率  

1×10-8Pa.m3/s  

管道接頭  

1/4″卡套接頭  

輸入輸出信號  

0～5V  

供電電源  

±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）  

外形尺寸mm  

130（寬）×102（高）×28（厚）  

通訊接口  

RS485 MODBUS協(xié)議  

直流電源  

電源功率  

1500W  

膜厚測量  

電源要求  

DC:5V（±10%） *大電流 400mA  

分辨率  

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136?   /測量(鋁)  

測量精度  

±0.5%厚度+1計數(shù)  

測量周期  

100mS～1S/次（可設(shè)置）  

測量范圍  

500,000   ? (鋁)  

晶體頻率  

6MHz  

通訊接口  

RS-232/485串行接口  

顯示位數(shù)  

8位LED顯示  

分子泵  

分子泵抽速  

1200L/S  

額定轉(zhuǎn)速  

24000rpm  

振動值  

≦0.1um  

啟動時間  

5min  

停機時間  

7min  

冷卻方式  

水冷+風(fēng)冷  

冷卻水溫度  

≦37℃  

冷卻水流速  

1L/min  

安裝方向  

垂直±5°  

抽氣接口  

150CF  

排氣接口  

KF40  

前級泵  

抽氣速率  

VRD-16  

極限真空  

1Pa  

供電電源  

AC:220V/50Hz  

電機功率  

400W  

噪音  

≦56db  

抽氣接口  

KF40  

排氣接口  

KF25  

閥門  

閘板閥  

真空腔體與分子泵間裝有閘板閥  

切斷閥  

分子泵與前級之間裝有切斷閥  

旁抽閥  

真空腔體與前級之間裝有旁抽閥  

放氣閥  

真空腔體上裝有電磁放氣閥  

整機極限真空  

≦5×10^-4Pa  

測試靶材  

直徑4英寸厚度3mm的鎳靶材1塊