CY-MS 磁控濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 390000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-MS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/18 14:52:05
- 訪問次數(shù) 50
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂儀,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
設(shè)備用途:
CY-MS磁控濺射鍍膜儀用于在晶體硅表面沉積金屬薄膜(Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等),并能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)濺射,可完成高、低真空下磁控濺射鍍膜工藝,具備較大尺寸和多種尺寸規(guī)格的晶體硅光伏電池薄膜的連續(xù)制備能力。
磁控鍍膜儀典型應(yīng)用:
• 科研領(lǐng)域:納米材料、薄膜器件、光學(xué)涂層等研究。
• 電子行業(yè):半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。
• 教學(xué)演示:材料科學(xué)、真空技術(shù)實驗教學(xué)。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學(xué)領(lǐng)域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值。
技術(shù)參數(shù):
型號 | CY-in-line | |
主濺真空室 | 方形真空室,尺寸Ø 1000×700×350mm | |
進(jìn)樣室 | 圓筒型,臥室,尺寸Ø 250×420mm | |
真空系統(tǒng)配置 | 分子泵與機(jī)械泵,閘板閥 | |
極限壓力 | 主濺射室 | ≦8*10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后) |
進(jìn)樣室 | ≦6.6*10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后) | |
恢復(fù)真空時間 | 主濺射室 | 40分鐘可達(dá)到6.6*10-4Pa(系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣) |
進(jìn)樣室 | 40分鐘可達(dá)到6.6*10-3Pa(系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣) | |
磁控靶組件 | 矩形靶尺寸約450*45mm;靶與樣品距離80mm可調(diào)
| |
基片加熱臺 | 基片結(jié)構(gòu) | 尺寸125*125mm或156*156mm,可一次安裝4片樣品 |
加熱溫度 | 室溫~400C±2 C,可控可調(diào) | |
氣路系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制器3路 | |
設(shè)備占地面積 | 主機(jī) | 2655 * 930mm2 |
電控柜 | 700 *700mm2(兩個) |
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