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CY-EVH300-III-HHH-SS 三源高真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)
參考價(jià) | ¥ 189600 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-EVH300-III-HHH-SS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/18 15:21:58
- 訪問(wèn)次數(shù) 46
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
三源高真空蒸發(fā)鍍膜機(jī),設(shè)備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設(shè)計(jì),腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái),可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、加熱,所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級(jí)式真空系統(tǒng),由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境;真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動(dòng)閥系統(tǒng),用戶可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、停機(jī)等操作。
詳情介紹:
本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達(dá)1800℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨(dú)立熱蒸發(fā)源,不會(huì)導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì),真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能,是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的之選。
應(yīng)用領(lǐng)域:
金屬和介電膜
薄膜傳感器的制造
光學(xué)元件
納米與微電子
太陽(yáng)能電池
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | 直徑φ150mm |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 金屬蒸發(fā)源鎢舟3個(gè) | |
蒸發(fā)電源 | 每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源;三個(gè)蒸發(fā)源可同時(shí)共蒸 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ300mm,高度400mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開(kāi)啟方式 | 前開(kāi)門(mén)式 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整機(jī)功率 | 7KW | |
整機(jī)重量 | 350kg |
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