ALP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用旋轉(zhuǎn)電機直接驅(qū)動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了可靠的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ALP轉(zhuǎn)臺還提供優(yōu)秀的旋轉(zhuǎn)絕對定位精度和、重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速以及負載能力，很容易集成到多軸運動系統(tǒng)中。

ALP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺采用杰出的工業(yè)化設(shè)計，轉(zhuǎn)動臺面尺寸150mm，中空30mm，95mm厚度輕薄的設(shè)計下仍能保證高性能，選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度小于±2角秒，軸向和徑向跳動小于250nm。ALP轉(zhuǎn)臺采用地心科技自主研發(fā)的圓形直驅(qū)電機，尺寸靈活設(shè)計可實現(xiàn)1200rpm高速度。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ALP轉(zhuǎn)臺的在位穩(wěn)定性和最小步進量小于0.5角秒。主要應(yīng)用在尺寸測量檢測、半導(dǎo)體檢測、同步加速研究、精密制造、光學(xué)對準(zhǔn)和系統(tǒng)校準(zhǔn)等需要角秒級定位精度的工業(yè)領(lǐng)域與科研項目。

備注：

(1) 適配-AS反饋，配置線性放大器；

(2) 空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(3) 默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

(4) 氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負載重量可調(diào)。

(5) 為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關(guān)，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。