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CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q 1200℃三通道CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 13:15:40
- 訪問次數(shù) 30
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂儀,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**操作,該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作,您根本無需專業(yè)學(xué)習(xí),為您節(jié)省大量的科研時(shí)間,真正做到事倍功半!
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面
2、系統(tǒng)高度集成:各個(gè)部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出
3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動(dòng)化
技術(shù)參數(shù): 項(xiàng)目 明細(xì) 供電電壓 AC220V,50Hz MAX功率 5KW 加熱溫區(qū) 220mm+440mm+220mm 工作溫度 1100℃ (1200℃<1h) 控溫精度 ±1℃ 升溫速率 建議≤10℃/min 控溫方式 AI-PID 30段工藝曲線,可存儲(chǔ)多條 三溫區(qū)獨(dú)立控制,帶有過熱和斷偶保護(hù) 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管尺寸 φ60mm O.D×1300mm L 氣體通道 三通道質(zhì)量流量計(jì) 氣體量程 A:100sccm B:300sccm C:500sccm 系統(tǒng)真空 5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)
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