SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)200Hz以上。

SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是Surface系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的有效補(bǔ)充，可以與Surface-Theta或者Surface-350-350平面氣浮組成多軸系統(tǒng)來(lái)滿足客戶應(yīng)用。在一些嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用案例中，對(duì)整體運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)有苛刻的精度和幾何性能要求，Surface系列可以為這類應(yīng)用提供整體解決方案。SurfaceZ平臺(tái)側(cè)向高度低，阿貝誤差小且節(jié)省空間，內(nèi)置氣動(dòng)平衡裝置最大承載15kg負(fù)載，可以同時(shí)滿足重負(fù)載，高精度和低側(cè)面的要求。

SurfaceZ平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，SurfaceZ平臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻、檢測(cè)和封裝、外形輪廓測(cè)量、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

SurfaceZ系列升降臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

5nm 步進(jìn)（配置線性放大器）

0.1mm 步進(jìn)，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測(cè)量；

（2）沿軸線方向受力；不帶氣動(dòng)平衡負(fù)載能力為8kg；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測(cè)試；

（5）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（6）其他行程可定制。